零件尺寸的测量.ppt

则： 令： 则有： ——拉普拉斯函数（概率积分） （3）置信概率：随即误差在±tσ范围出现的概率称为置信概率，t——置信因子（置信系数） （4）通常取t=3，则：P=2Φ(t)=99.73% x y O σ 3σ 3σ 图3-8 与σ的关系 在工具显微镜上用光学灵敏杠杆测量端面定位孔的直径时，可用两种方法确定采样点的位置。 找拐点法 测弦找中点法 立式接触式干涉仪是一种高精度测微仪，其光学系统如图4－6所示。自光源1发出的光束经聚光镜2后成平行光，再经保护玻璃4（干涉滤色片3在定分度值时插入光路）投射到分光镜6上。一束被分光面A反射后，射至可调反射镜5，返回后透过分光镜射向物镜9；另一束光透过分光镜6及补偿镜7，射至与测杆相连的反射镜8，反射后经补偿镜7再在A面反射也进人物镜9，两束光产生干涉，物镜9将干涉条纹放大并成像在分划板10上。分划板上有? 50个刻线间隔，通过目镜11可同时观察到刻线和干涉条纹。补偿镜的作用是产生零级黑色条纹。 立式接触式干涉仪 用接触式干涉仪测量时使用白光，即移出滤色片，使视场中出现零级黑条纹。根据测头先后与标准件及被测件接触时零级条纹位置间的距离，即可测得被测量相对于标准量的偏差值。例如检定量块：测头与标准量块接触时，零级条纹位于a＝－l（格），测头与被检量块接触时，零级条纹位于a=+4格，若仪器分辨力i=0