交大奈米中心ThermalCoater操作讲议.PDFVIP

交大奈米中心 Thermal Coater 操作講議 106/0 12/ 15 最新修訂 第一階段： 1. 先確定機台指示牌為運轉正常 ，且水、氣、電供應正常(調壓閥與管路平行且水、氣之 壓力值與標示一致) ，再由登記簿確認前一位使用者已經結束操作，再登記自己的紀錄， 指示牌換至”使用中”。 2. 破真空：按下馬達控制面板上的RESET ，再按下CHAMB VENT ，接著按下START 鍵，此時會先亮SLOW VENT 燈，等VENT燈號亮起時，再將機台後方的N 氣閥開啟， 2 即可開始破真空。扳下腔門的板手至破真空位置(勿全開，怕腔門彈出會撞到他人) ，當腔 體的氣壓和外部一致時，可聽到鈴響(ATM 燈號會閃爍) ，先關上機台後方的N2 氣閥再開 啟腔門。 3. 將前一位使用者的 BOAT 清除(拿起六角板手轉鬆 BOAT 的螺絲) ，換上新的BOAT和鋁錠 (每顆鋁錠可鍍500Å ，視鍍膜厚度放入適量的鋁錠。BOAT之電極固定以一般力道上緊即 可，請勿過度鎖緊，以免損傷螺絲基座及六角扳手過度磨損。當BOAT與電極密合時， 降低接觸電阻，BOAT較不易燒斷)。 4. 放入WAFER HOLDER(當要更換時，只要將腔體內的HOLDER 往上抬 ，再將其往缺口 處推，即可拿出) ，放上WAFER(若有破片 以真空膠帶黏在乘載的完整晶片上，承載 的WAFER 可以包一層鋁箔，暗面朝外，亮面 朝內) ，一次可以放入8 片四吋完整WAFER or 5 片六吋完整WAFER ，放完後按下機檯面板上的JIG DRIVE試轉 ，確定WAFER 確實 固定在HOLDER上。 5. 抽真空前請先檢查石英震盪器頻率，頻率要在4.5 ~ 4.85MHz範圍內 ，若大於4.85 MHz 無妨，低於4.5 MHz時請至抽屜內拿E-GUN換下之石英震盪片換上。 (4.85~5MHz給E-GUN使用，4.5~4.85MHz給COATER使用) 1 石英振盪片更換步驟: A. 逆旋轉取下SENSOR外蓋。 B. 逆旋轉取下石英振盪片組件。 C. 分解組件(內環往上拉) ，換上E-GUN用過之石英振盪片。 D. 怎麼拆就怎麼裝回，若頻率仍在7.XMHz表示斷路沒裝好，請拆下重裝。 6. 關上腔門 ，將扳手扳至抽真空位置(大氣下) ，開始抽 真空。先按馬達控制面板上的RESET ，再按PUMP DOWN ，接著 按下START待抽下。若抽約1分鐘後PUMP仍很大聲，表門縫有 漏，請再將扳手往上扳至抽氣聲正常(由大聲變小聲)。此時可看腔 體的壓力計指針上揚，燈號由ROUGH 跳至 SLOW ROUGH 再 跳到MAIN ，當跳至MAIN (燈號無閃爍) 且ION GAUGE 燈號亮 時 ，表示抽氣穩定，且RP會停止運轉，此時人員可以離開。一般 的抽氣時間至少需要四小時以上 。 (PS1 若還是無法穩定抽氣，則需要重新破真空，再抽氣一次。 PS2 離開前請再次確認後方的氮氣閥有關，否則真空無法抽至 10 ‐ 6 Torr) 第二階段 ： 1. 先在機檯面板上按THKO ，再按數字鍵0 ，按下ENTER(ENT) 將先前的厚度設定值歸 零。 2. 接著按下PROGRAM(PRGM)設定參數( ↑鍵表示回到上一步，ENTER(ENT) 鍵可做 為進行下一步) ，重複按下↑鍵直到螢幕出現RA 1 (表示第一階段的鍍率)設定為3Å/S (每秒鍍率為 3 Å) ，其目的為增加均勻度，提高鋁的附著性。 3. 按下ENTER(ENT)直到螢幕出現THK 1 設定為 0.100K Å。(表示第一階段所鍍的厚度為 2 100 Å) 4. 按下ENTER(ENT) 直到螢幕出現 RA 2設定第二階段鍍率為