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光致酸发生剂对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成-影像科学与光化学
24 6 Vol. 24 No. 6
2006 11 Photographic Science and Photochemistr Nov. , 2006
研究简报
) ) )
李 萍, 李 平, 刘建国
( , 430074)
: 以二苯亚砜为起始反应物, 通过改进反应溶剂, 首先合成了溴化三苯基
硫 盐, 大大缩短了反应 间, 提高了该盐的反应收率. 再运用银盐置换法, 合
成了光致酸发生剂) ) ) 对甲基苯磺酸三苯基硫 盐, 并对其进行了红外和核磁
共振表征.
: 光致抗蚀剂; 光致酸发生剂; 对甲基苯磺酸三苯基硫 盐
: 1000-3231( 2006) 06-0450-04 : O64 : A
( ) ,
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[ 1] [2]
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[ 3, 4]
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[5] [6]
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[ 7- 11]
,
. , [ 8, 12] ,
, , .
1
1. 1
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: 2006-05-22; : 2006-06- 14.
: ( 1957-) , , , , Tel: 027 E-mail: lpg6@ ahoo. com, .
450
6 : ) ) ) 451
1. 2
3. 36 g( 0. 14 mol)
20 mL , 23. 3 g ( 0. 15 mol) 20 mL .
5 mL, , , , , .
30 mL , 30 min, , . ,
80 e , . 25 mL , 6. 1 g( 0. 03 mol)
35 mL , 1 h , 3 h. ,
100 mL 25% , , , 2 @ 15 mL 5% ,
, 3 @ 30 mL , , , ,
. , 4 ,
[ 8]
5166 g, 55. 2%( ) , 285~ 287 e , .
1. 3
8. 6 g ( 0. 05 mol) , 5. 1 g ( 0. 022 mol) ,
100 mL , , 6 h, , ,
, , , , 12. 0 g, 97. 7%( ) .
1. 4
, 3. 43 g ( 0. 0 1 mol) 30 mL , ,
2. 79 g ( 0. 01 mol) 30 mL , , ,
22 h, , , , ,
, , , , 4. 2 g, 96. 8%,
, .
1. 5
1
EQU INQX 55 , KBr ; H
M ercur VX-300 , 300 MHz, TMS ,CDCl .
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