光致酸发生剂对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成-影像科学与光化学.PDF

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光致酸发生剂对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成-影像科学与光化学

24 6 Vol. 24 No. 6 2006 11 Photographic Science and Photochemistr Nov. , 2006 研究简报 ) ) ) 李 萍, 李 平, 刘建国 ( , 430074) : 以二苯亚砜为起始反应物, 通过改进反应溶剂, 首先合成了溴化三苯基 硫 盐, 大大缩短了反应 间, 提高了该盐的反应收率. 再运用银盐置换法, 合 成了光致酸发生剂) ) ) 对甲基苯磺酸三苯基硫 盐, 并对其进行了红外和核磁 共振表征. : 光致抗蚀剂; 光致酸发生剂; 对甲基苯磺酸三苯基硫 盐 : 1000-3231( 2006) 06-0450-04 : O64 : A ( ) , ( ) . , : . , , , , . , [ 1] [2] . [ 3, 4] , ; [5] [6] ; ; [ 7- 11] , . , [ 8, 12] , , , . 1 1. 1 ; , . : 2006-05-22; : 2006-06- 14. : ( 1957-) , , , , Tel: 027 E-mail: lpg6@ ahoo. com, . 450 6 : ) ) ) 451 1. 2 3. 36 g( 0. 14 mol) 20 mL , 23. 3 g ( 0. 15 mol) 20 mL . 5 mL, , , , , . 30 mL , 30 min, , . , 80 e , . 25 mL , 6. 1 g( 0. 03 mol) 35 mL , 1 h , 3 h. , 100 mL 25% , , , 2 @ 15 mL 5% , , 3 @ 30 mL , , , , . , 4 , [ 8] 5166 g, 55. 2%( ) , 285~ 287 e , . 1. 3 8. 6 g ( 0. 05 mol) , 5. 1 g ( 0. 022 mol) , 100 mL , , 6 h, , , , , , , 12. 0 g, 97. 7%( ) . 1. 4 , 3. 43 g ( 0. 0 1 mol) 30 mL , , 2. 79 g ( 0. 01 mol) 30 mL , , , 22 h, , , , , , , , , 4. 2 g, 96. 8%, , . 1. 5 1 EQU INQX 55 , KBr ; H M ercur VX-300 , 300 MHz, TMS ,CDCl .

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