电容式位移传感器1.pptVIP

当被测参数变化使得式（3-1）中的S,δ或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 电容式位移传感器 S ——极板的遮盖面积，单位为m2； ε ——极板间介质的介电系数； δ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。 一、 电容式传感器的工作原理及特性 1.基本工作原理 平行极板电容器的电容量为： 2 . 电容式传感器的类型和特性 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。 图1 变极距型电容传感器 2.1 变极距型电容传感器 下极板上移： 设动片未移动时极板间距为δ0 初始电容量为： 电容的相对变化量为： 略去高次项，得： 所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足Δδδ0的条件。且一般Δδ只能在极小的范围内变化。 非线性误差与Δδ/δ0有关。其表达式为： 传感器的灵敏度为： 差动式变间隙型电容传感器 动极板上移： 初始位置时， 图2 差动式变间隙型 提高一倍 减小 略去高次项： 电容量的相对变化为 ： 非线性误差为： 灵敏度： 角位移变面积型 2.2 变面积型电容传感器 显然：电容Cθ 与角位移θ呈线性关系。 θ 动片 定片 图4 角位移式 板状线位移变面积型 线性关系 图5 直线位移式 当其中一个极板发生x位移后，改变了两极板间的遮盖面积S ，电容量C同样随之变化。 图6 厚度传感器 2.3 变介电常数型电容传感器 单组式平板形厚度传感器 图7 厚度传感器的等效电路 设固定极板长度为a、宽度为b、两极板间的距离为δ；被测物的厚度和它的介电常数分别为δx和ε ,则 单组式平板形线位移传感器 设极板宽度为b，板间无介质ε2 时，传感器的电容量为： 图8 线位移传感器 图9 线位移传感器等效电路 插入介质ε2 后的电容量为： 所以 该式表明：电容量C与位移x成线性关系。 二、 电容式传感器的测量电路  电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小, 这样微小的电容量还不能直接为目前的显示仪表所显示, 也很难为记录仪所接受, 不便于传输。这就必须借助于测量电路检出这一微小电容增量, 并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 1、 调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正, 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频测量电路原理框图如图 10 所示。 图10 调频测量电路原理框图