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国立交通大学显示科技研究所.PDFVIP

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  • 2019-01-01 发布于湖北
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国立交通大学显示科技研究所.PDF

    國 立 交 通 大 學 顯示科技研究所 碩士論文 使用觸媒化學氣相沈積法 控制本質氫化微晶矽薄膜結晶度之研究 Control of Crystalline Fraction of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Films in Catalytic Chemical Vapor deposition 研究生 ：姚芳弘 Fang-Hong Yao 指導教授 ：蔡娟娟教授 Prof. C.C. Tsai 中華民國九十八年八月 使用觸媒化學氣相沈積法 控制本質氫化微晶矽薄膜結晶度之研究 Control of Crystalline Fraction of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Films in Catalytic Chemical Va

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