蓝宝石隔膜真空计.PDFVIP

CP-UM-5671C 注意 蓝宝石隔膜真空计 • 请在规格书中记载的使用条件（温度、湿度、电压、环境 等）范围内使用本机。 SPG5A/6A 使用说明书 • 请勿在有爆炸性环境及可燃性液体或蒸汽的环境下使用。 • 连接件、垫片请使用规定的产品，配管后确认无泄漏后再 使用。否则有气体泄漏的危险。 • 请在本机的电源配线上操作者能触及的范围内设置主电源 切断用开关。 • 请按照本机连线的标准、指定电源及施工方法，正确接 线。 否则有发生火灾、故障的危险。 • 请勿让线头、切屑、水等进入本机机壳内部。否则有发生 火灾、故障的危险。 • 请勿堵塞本机的通风孔。 非常感谢您购买蓝宝石隔膜真空计　SPG5A/6A。本使用说明书 否则有发生火灾、故障的危险。 中记载了安全及正确使SPG5A/6A的必要事项。 对于承担使用SPG5A/6A的操作盘、装置的设计、维护人员，请 • 通电中及通电结束后的一段时间内，本机表面会处于高 务必在阅读并理解本书的基础上使用。 温。由于有烫伤的危险，请勿触摸本机。 此外，本使用说明书不只在安装时，在维护、故障维修时也是 拆卸时请在作业前先切断电源，充分冷却后再进行作业。 必不可少的。请常备此手册以供参考。 在设置上有接触本机可能性的场合，请在自控设计时采取 对策。（有自己加热的机型） 在订购和使用产品前，务必请先阅读 “产品订购注意事项”。 • 请在规格中记载的寿命范围内使用本机的继电器。超过寿 /cn/products/order.html 命继续使用时，会有发生火灾、故障的危险。 要求 概　要 请务必把本使用说明书送到本机使用者手中。 蓝宝石隔膜真空计SPG5A/6A采用了蓝宝石静电容量式压力传 禁止擅自复印和转载全部或部分本使用说明书的内容。今后内 感器的高精度，是具有高可靠性、小型、轻量的隔膜真空计。 容变更时恕不事先通知。 可选择有自己加热功能的机型及无自己加热功能的机型。有自 本使用说明书的内容，经过仔细审查校对，万一有错误或遗 己加热功能的机型可选择加热温度。主要用于半导体工艺流 漏，请向本公司提出。 程。本机具有以下的特长。 对客户应用结果，本公司有不能承担责任的场合，请谅解。