基于纳米压痕试验的TiN镀膜有限元分析-NSFC.PDF

年 月第 卷第 期 ２０１５ ４ ３９ ４ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．４Ａ ｒ．２０１５ 　 ｐ 基于纳米压痕试验的ＴｉＮ镀膜有限元分析 ， １ ２ ２ １ １ ， ， ， 吴军 金杰 周兆忠 张元祥 （ ， ； ， ） 衢州学院机械工程学院 衢州 浙江工业大学 杭州 １． ３２４０００２． ３１００１４ ： ， （ ） ， 摘 要 基于纳米压痕试验 利用Ｏｌｉｖｅｒ和 Ｐｈａｒｒ法求解氮化钛 ＴｉＮ 镀膜的弹性模量和刚度 　 ， ； 采用ＤＥＦＯＲＭ 有限元分析软件 通过量纲分析及曲线拟合法确定了ＴｉＮ镀膜的屈服强度 针对不 ， ， 。 同膜厚 取镀膜上 个特征点进行力学性能有限元分析 通过膜基分离试验进行了验证 结果表 ７ ： ， ， ， 明 压头压入点 所受应力最大 其值为 膜基结合处 点出现应力集中 所受切应 Ｐ０ ４２３０ ＭＰａ Ｐｓ 　 ， （ ） ， 力最大 其值随膜厚增大 而由 降低至 该位置为镀膜最易剥落 １ ２．５ ｍ ３１５０ ＭＰａ ２２６０ ＭＰａ ～ μ 　 　 ； ； ， 处 膜基分离试验证实镀膜分离区就在 点附近 随着镀膜厚度增加 基底对镀膜的影响程度逐 Ｐｓ 渐减小。 ： ； ； ； ； 关键词 压痕试验 ＴｉＮ镀膜 曲线拟合 有限元 应力 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１４６．１ Ａ １０００３７３８２０１５０４００９７０６ 　　　 　　　 － － － ＦｉｎｉｔｅＥｌｅｍｅｎｔＡｎａｌｓｉｓｏｆＴｉｔａｎｉｕｍ ＮｉｔｒｉｄｅＦｉｌｍｓＢａｓｅｄｏｎＮａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎＴｅ