大气压氦气射流等离子体放电特性的研究-广州大学学报自然科学版.PDF

第１７卷　第４期 广州大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．１７　Ｎｏ．４ 　２０１８年　８月　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＧｕａｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） Ａｕｇ．　２０１８ 文章编号：１６７１４２２９（２０１８）０４００８１０７ 大气压氦气射流等离子体放电特性的研究 柳晶晶，陈　东，杜光镇 （广州大学 机械与电气工程学院，广东 广州　５１０００６） 摘　要：为进一步了解大气压射流等离子体放电机理，通过对大气压氦气射流等离子体电压电流测量及发射 光谱和放电现象的记录，研究氦气射流等离子体的电气特性以及空间分辨的光谱特性和演变规律．探索放电平 均功率、气体转动温度和振动温度随外加电压增加的变化趋势．结果表明，放电平均功率随外加电压的增大而 增大，主要活性粒子的发射光谱强度也随着外加电压的增大而增强，但是各活性粒子发射光谱的强度在射流注 上的空间分布情况不同．氦气射流等离子体放电为典型的辉光放电，气体温度维持在４００Ｋ左右，可以广泛地 应用于生物材料的表面改性． 关键词：大气压射流等离子体；放电特性；空间分辨；发射光谱 中图分类号：Ｏ４６１　　　文献标志码：Ａ 　　近年来，大气压射流等离子体（Ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ＰｒｅｓｓｕｒｅＰｌａｓｍａＪｅｔ，ＡＰＰＪ）在不同的技术领域扮演 １　实验装置及测量 着越来越重要的角色，其拥有较高的电子温度，接 近室温的气体温度等特性成为材料表面处理的热 本文实验所采用射流实验装置见图１． 门技术之一［１－４］．ＡＰＰＪ易在惰性气体中产生，国内 外研究者已经在多种惰性气体中产生ＡＰＰＪ，并在 射流特性和材料表面处理等方面取得了一系列研 究成果［５－８］．在射流等离子体应用时，需要结合相 应的应用来选择合适的工作条件，这就需要研究 不同环境下，不同电极结构放电参数对射流等离 子体的放电特性的影响规律，从而得到最佳的放 电条件，在不同领域发挥重要作用［９－１３］．为进一步 了解大气压射流等离子体放电机理，通过对大气 压Ｈｅ射流等离子体的在不同电压和不同空间位 置等工作条件下，电气特性的测量及发射光谱和 图１　实验装置示意图 发光图像等光学特性诊断，探讨氦气射流等离子 Ｆｉｇ．１　Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｄｅｖｉｃｅｓｃｈｅｍａｔｉｃ 体放电的放电特性和演变规律［１４－１５］． 　　本实验装置射流反应器为带有进气管口的圆 本文通过记录放电的电压电流波形、放电图 柱形石英玻璃管，玻璃管外径为４ｍｍ，内径为２４ 像和发射光谱，研究了氦气射流等离子体的放电 ｍｍ，长度为４５ｍｍ；内部放电针电极是１个直径为 特性，采用电压电流波形，发射光谱测量，得出了 １８ｍｍ，长度为３７ｍｍ的不锈钢针；环形电极的 放电功率、等离子体气体温度和振动温度在不同 宽度为３ｍｍ的铜皮，距玻璃管末端３ｍｍ；接地电 电压下的空间分布特性． 极是１个直径为４ｍｍ、厚度为６０ｍｍ的圆形不锈 　　收稿日期：２０１８－０５－１８；　修回日期：２０１８－０６－２０ 　　基金项目：广东省优秀青年教师培养计划资助项目（ＹＱ２０１５１２３） 　　作者简介：柳晶晶（１９８２—），女，副教授，博士．Ｅｍａｉｌ：ｌｉｕｊｊ＠ｇｚｈｕ．ｅｄｕ．ｃｎ 　　 广州大学学报（自然科学版） 第１７卷　 ８２ 钢板，电压源为电压幅值０～４０ｋＶ可调的ＣＴＰ ２０００ｋ等离子体电源，电压波形通过 Ｔｅｋｔｒｏｎｉｘ Ｐ６０１５Ａ无源高压探头和ＲｉｇｏｌＤＳ１１０２Ｅ双踪示波 器记录，电流波形通过测量串联在放电回路中的 １００ 电阻上的电压获得．空间分辨的发射光谱通 Ω 过ＯｃｅａｎＯｐｔｉｃｓＵＳＢ２０００＋光谱仪来记录和 Ｄａ ｈｅｎｇＯｐｔｉｃｓＧＣＤ０４０１Ｍ电动台控制器来记录． ２　不同电压下放电特性