热敏感与执才行原理.pptVIP

第四章 热敏感与执行原理 热传感器与执行器概述 -热传感器 -热执行器 -热传递的基本原理 基于热膨胀的传感器与执行器 -热双层片基本原理 -单一材料组成的热执行器 热电偶 热电阻器 应用 微传感器实例---热学 微执行器制动方式实例---热执行器 热传感器与执行器概述---热传感器 热传感器包括两种含义：用于测量诸如温度和热等热学性质的传感器；（2）基于热传递原理的传感器。 热传感器与执行器概述---热执行器 微器件和结构的执行可以通过注入或抽走其中的热量来实现。温度分布的变化通过热膨胀、热收缩或者相变将导致机械位移或者力的输出。微结构通过吸收电磁波、欧姆热、热传导和热对流的热量，温度可以升高；而通过热传导散热、热对流散热、热辐射散热以及有源热电制冷，微结构的温度可以降低。 热执行原理已用于商业的MEMS产品中。现在很多喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴。热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示。 热传感器与执行器概述---热传递基本原理 微尺度下原子的振动证明了温度的存在。当材料中存在温度梯度时就会产生热传递。热量从一点传递到另一点有四种可能的机制： 1）传导，即当存在温度梯度时，热量通过固体媒介传递； 2）自然对流，即热量从表面传递到静止流体内部，流体里的温度梯度通过浮力引起了液体的局部流动，流体质量的运动促进了热