微纳米定位技术.pptxVIP

;;;;;传统的旋转电机与丝杠、减速器、轴承等组合的驱动传动结构，引入摩擦、间隙、机械弹性变形等问题，无法满足纳米精度要求。 应用于纳米级精密定位领域的执行器主要有： 1）洛伦茨电机：直线电机、平面电机、音圈电机 2）固态执行器：压电执行器、磁致伸缩执行器、…;直线电机 直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。它可以看成是一台旋转电机按径向剖开，并展成平面而成。 用直线电机直接驱动后加速度可以达到2.5~6g。存在齿槽效应和边缘效应所造成的力矩纹波，给控制带来了一定困难。 ;音圈电机（Voice Coil Motor） 音圈电机是一种特殊形式的直接驱动电机.?具有结构简单、体积小、高速、高加速、响应快等特性.?其工作原理是,?通电线圈(导体)?放在磁场内就会产生力,?力的大小与??加在线圈上的电流成比例.?基于此原理制造的音圈电机运动形式可以为直线或者圆弧.??????????? ??音圈电机一般可以达到500-1000Hz的运动频率，甚至更高。其控制位置精度最高到几十个纳米这样的精度要求。采用直线音圈电机直接驱动后加速度可高达10g以上。但由于没有中间减速装置，因此对负载变化很敏感。此外，支撑导轨非线性摩擦也给定位系统的控制带来困难。 ;超声波直线 超声波电动机是以超声频域的机械振动为驱动源的驱动器。由于激振元件为压电陶瓷，所以也称为压电马达。具有低速大力矩输出、功率密度高、起停控制性好、精确定位、、噪音小等优点。 采用超声波直线电机直接驱动有效提高了重复定位精度，但平台的速度和加速度不高。 ;;2）固态执行器 压电陶瓷执行器 当压电晶体在外力作用下发生形变时，在它的某些对应面上产生异号电荷，这种没有电场作用，只是由于形变产生电荷的现象称为正压电效应。 当压电晶体施加一电场时，不仅产生了极化，同时还产生了形变，这种由电场产生形变的现象称为逆压电效应。 压电陶瓷是一类能产生逆压电效应的压电晶体。压电陶瓷执行器具有体积小、位移分辨率高（亚纳米级）、响应速度快（几十微秒）、输出力大、换能效率高、静态不发热等优点。但压电陶瓷执行器的行程最大一般只有数百微米。 应用：压电陶瓷执行器常用于超精密纳米定位机构中。 ;磁致伸缩执行器 某些磁性体的外部一旦加上磁场则磁性体的外形尺寸会发生变化，利用这种现象制作的驱动器称为磁致伸缩驱动器。 精度可达纳米级，响应速度快(微秒级)，输出力大，工作电压低(几伏至几十伏)，设计相对简单。但为了消除线圈发热引起的热变形因素的影响，必须专门设计恒 温冷却系统，给其应用带来了不利因素。 ;;电致伸缩陶瓷执行器 压电体在外电场外电场作用下会产生区别于逆压电效应的形变，其大小与场强成比例。电致伸缩陶瓷执行器是由特殊压电材料制成的具有良好的温度稳定性及大的电致伸缩效应的驱动器。 其产生的形变与外电场的平方成正比，导致驱动器在低电压段位移分辨率高、高电压段位移分辨率低的现象，降低了驱动器整体分辨率。另外，驱动器材料的温度漂移系数比较大，在高精度应用中对环境的要求较高。 ; 微位移传感器主要有： 激光干涉仪 电容式传感器 电感式传感器 应变式传感器 光栅式传感器 …… ;1）激光干涉仪（laser interferometer） 原理：以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。 优点：量程大，分辨率高，抗干扰能力好。 缺点：系统庞大，造价昂贵。 2）电容式传感器 原理：将位移量转化为电容值的变化，有变间隙式、变面积式和变界电常数式三种。 优点：灵敏度高，分辨率高，精度可靠，属于非接触式测量，动态响应快，发热小。 缺点：容易受寄生电容和外界的干扰。 ;3）电感式传感器 原理：将位移的变化量转化为互感或自感的变化。 优点：有结构简单，体积小、易于安装、分辨率高； 缺点：处理电路较为复杂，对于它的精度、稳定性影响较大。随着一些专用集成信号条理芯片的出现，其应用范围进一步扩大。 4）应变式位移传感器 原理：将位移量变成金属或半导体应变片的应变，引起应变片的电阻变化。 优点：从理论上讲，其分辨率很高，成本低； 缺点：接触式测量；受温度、衬底材料和粘贴的影响。 ;5）光栅传感器 优点：分辨率高、精度好、不受磁场、电场的影响。 缺点：价格昂贵，适应性有局限，油污和灰尘会影响它的可靠性。;; 微位移导向机构主要有： 柔性铰链 板弹簧 气浮 磁浮 ;柔性铰链导向机构 结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙。 柔性铰链导向机构通常与压