压力感测器注意事项PDF990KB-OMRON.PDF

CSM_Pressure_TG_TW_3_2 概要 ■何謂壓力感測器 壓力感測器其透過膜片（包含不鏽鋼膜片，矽膜片等）以感壓元件測量氣體及液體的壓力後，轉換為電氣訊號輸出動作。 原理 ・半導體壓電阻抗擴散壓力感測器的膜片表面由半導體應變計構 ・靜電容量型壓力感測器其電容器是將玻璃材料的固定極與矽材 成，當外力（壓力）使膜片變形發生壓阻效應，進而使電阻變 料的可動極對向設置後所構成。當外力（壓力）使可動極變 化時，感測器會將電阻的變化轉換為電子訊號。 形，靜電容量發生變化時，感測器會將靜電容量變化轉換為電 子訊號。 （E8Y型之動作原理為靜電容量式，其餘機種為半導體式。） 半導體應變計的構造 保護膜 半導體應變計 加壓 測量 基 何謂壓電效應 L S 上導體的阻抗值為 　　　　R＝L/S 將此導體如下圖拉開，長度將會增加，面則會減 L＋1 S －s 上導體的阻抗值為 　　　　R’＝（L＋1 ）/S －s 此　　　R’ R 壓電效應即表示此施加機力使阻抗值變化的。 1 專有名詞解說 ■標準壓力 ■直線性（線性） 以大氣壓力為基準所表示的壓力大小。 類比輸出相對檢測壓力雖幾乎呈線性變化，但稍微偏離理想直線。 高於大氣壓力的壓力稱為「正壓」，低於大氣壓力的壓力稱為 將此偏差以相對於滿刻度的百分比表示，即為直線性。 「負壓」。 5 ■絕對壓力 4 誤差的最大值 度 刻 滿 以絕對真空為基準所表示的壓力大小。 ■差壓（相對壓力） 壓 電 出 輸 3 相對於某一任意比較的壓力（基準壓力）所表示的壓力大小。 2 V 1atm 1 絕對壓力 負壓 正壓 量規壓力 0 相對壓力 基準壓力 20 40 60 80 100