常压射频容性氩2f氮二元混合气体等离子体放电特性的分析.pdfVIP

常压射频客隆氩／氮二元混合气体等离子体放电特性的研究 目 录 摘 要…………………………………………………………………………………．I Abstract…．．．．．．．…．．．．．．．…．．．．…．……．．．．……．…．．……．．……．．…．．．．…．．．…．．．．．…．．．…………．．．……．．．…．．，II 1 绪论………………………………………………………………………………………………………………1 1．1等离子体物理概述……………………………………………………………1 1．1．1等离子体由来及分类…………………………………………………l 1．1．2等离子体基本物理性质………………………………………………2 1．2大气压等离子体综述…………………………………………………………4 1．2．1 大气压等离子体的特点和优势………………………………………4 1．2．2大气压等离子体源研究及其应用……………………………………5 1．3研究内容及背景介绍………………………………………………………．10 2大气压射频容性氩／氮等离子体实验装置及射频电源阻抗匹配原理…………．．12 2．1实验装置系统………………………………………………………………．12 2．2射频功率源阻抗匹配原理介绍……………………………………………．18 2．2．1功率最大化原理……………………………………………………．．18 2．2．2匹配网络中可调电容参数的确定…………………………………．．19 3常压射频氩／氮等离子体的多元诊断及其在材料表面改性中的应用…………一21 3．1 大气压射频容性氩／氮等离子体的电学诊断………………………………21 3．1．1 实验现象的分析及讨论……………………………………………．．21 3．1。2电学特性分析………………………………………………………．．22 3-2大气压射频容性氩／氮等离子体的光学诊断………………………………25 3．2．1振动温度的测量……………………………………………………．．25 3．2．2氮原子浓度的光化线强度测定……………………………………．．30 l 3．3大气压射频容性氩／氮等离子体在玻璃表面亲水陛应用中的尝试………3 4大气压射频微等离子体射流的初步探究…………………………………………34 4．1射频功率源阻抗匹配的实验研究…………………………………………．34 4．1．1 实验装置及实验步骤………………………………………………～35 4．1．2匹配网络理论基础介绍……………………………………………．．36 4．1．3 实验结果讨论及意义………………………………………………．．4l 4．2大气压射频He／CF4／02放电的初步发射光谱诊断…………………………45 结 论…………………………………………………………………………………………………………．．47 大连理工大学硕士学位论文 参考文献……………………………………………………………………………48 攻读硕士学位期间发表学术论文情况………………………………………………．．52 致{射…………………………………………………………………………………………………………．．53 大连理工大学学位论文版权使用授权书……………………………………………．．55 大连理工大学硕士学位论文 1绪论 等离子体通常被称作物质的第四态，宇宙中有99％的物质是等离子体。它是由大量 随机运动的电子，离子和中性粒子组成的整体呈电中性的物质。等离子体放电可以产生 大量复杂的化学活性成分，像离子，离子团，电子，亚稳态原子，活性自由基和光子等， 所以被广泛地应用于微电子制造工业和材料表面改性等[，】。等离子体技术的应用领域十 分广泛，现代电子工业超大规模集成电路的制造几乎有三分之一的工序需要用到等离子 体。近些年来随着环境污染的日益加重，废弃物(