基于fpga的超声发生器设计与实现-机械电子工程专业论文.docxVIP

原创性声明 原创性声明 本人声明，所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。论文主要是自己的研究所得，除了已注明的地 方外，不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 中南大学或其他单位的学位或证书而使用过的材料。与我共同工作的 同志对本研究所作的贡献，已在论文的致谢语中作了说明。 作者签名： 辑 日期： 盟年』月上日 关于学位论文使用授权说明 本人了解中南大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有 权保留学位论文，允许学位论文被查阅和借阅；学校可以公布学位论 文的全部或部分内容，可以采用复印、缩印或其他手段保存学位论文； 学校可根据国家或湖南省有关部门的规定，送交学位论文。对以上规 定中的任何一项，本人表示同意，并愿意提供使用。 作者签名：碑墨聋导师签名：j量畲缸日期：二址年』月卫日 中南人学硕I：学位论义 中南人学硕I：学位论义 摘要 摘 要 超声发生是热超声引线键合的核心技术之一。超声发生器的驱动 频率与换能器谐振频率一致时，才能使换能器获得最大的振动输出。 换能器在键合过程中由于受温度、负载等因素变化的影响，谐振频率 会发生500～1000Hz的漂移。研究跟踪速度快、精度高的超声发生器 对提高引线键合的质量和效率具有重要意义。传统模拟超声发生器频 率跟踪精度低、稳定性差，现有数字超声发生器运算速度慢，频率跟 踪算法效率低。为此，本文设计了基于FPGA的具有快速频率跟踪功 能的数字超声发生器，主要工作包括： 1)分析了传统超声系统(包括超声发生器和超声换能器)的原 理和结构，根据其数学模型，建立了基于Matlab／Simulink的仿真平 台，研究了换能器相位和驱动电流的动态响应过程，发现了相位变化 与驱动频率之间的关系，为新型数字超声发生器的设计提供了依据。 2)仿真研究了换能器参数对其驱动电流变化过程的影响，发现 动态电感越大，电流上升时间越长，电流稳态值越大；动态电容越大， 电流的稳态值越大；动态电阻越大，电流上升时间越短，电流稳态值 越小；而静态电容对电流的上升时间和稳态值没有影响，为高效频率 跟踪算法的设计提供了基础。 3)基于换能器的动态响应特性，设计了超声发生器数字增量式 PID频率控制算法；以FPGA为核心器件，设计并制作了超声发生器 硬件电路，编写了各子模块的FPGA代码、下位机接口程序和上位机 控制软件，实现了具有自动频率跟踪、频率扫描、动态相位和电流记 录以及时变驱动功能的数字超声发生器。 4)建立了超声发生器性能测试实验平台，实验验证了本文设计 的超声发生器能够有效驱动各种频率的换能器；利用激光多普勒测振 仪及高速数据采集卡，采集了电压．电流及电压．振幅特性；发现超声 发生器具有2ms内稳定跟踪到换能器谐振频率(频率跟踪范围为± 2kHz时)的优良性能。 关键字超声发生器，频率跟踪，超声键合，FPGA 中南人学顾I：学位论文 中南人学顾I：学位论文 Abstract Abstract Generating ultrasonic is the key technology of the thermal ultrasonic wire bonding．When excited frequency of ultrasonic generator is accordance with the resonant frequency of transducer,the maximum vibration will be activated．The drift from 500 to l 000Hz may be observed in the bonding process，because the resonant frequency is affected by temperature，loading and SO on．So，it is very important to improve the quality and efficiency of bonding that intelligent ult