基于ad7747的电容式微位移测量系统的研究与实现-信息与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明，所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及 取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得武汉理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材 料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作 了明确的说明并表示了谢意。 签 名： 日 期： 学位论文使用授权书 本人完全了解武汉理工大学有关保留、使用学位论文的规定， 即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子 版，允许论文被查阅和借阅。本人承诺所提交的学位论文（含电子 学位论文）为答辩后经修改的最终定稿学位论文，并授权武汉理工 大学可以将本学位论文的全部内容编入有关数据库进行检索，可以 采用影印、缩印或其他复制手段保存或汇编本学位论文。同时授权 经武汉理工大学认可的国家有关机构或论文数据库使用或收录本学 位论文，并向社会公众提供信息服务。 （保密的论文在解密后应遵守此规定） 研 究 生 （ 签 名 ） ： 导 师 （ 签 名 ） ： 日期 武汉理 武汉理工大学硕士学位论文 摘要 随着科学技术的快速发展与工业生产需求的不断提高，人们对精密测量提 出了越来越高的要求。电容测微技术作为非接触式微位移测量的一种重要手 段，由于测量仪器结构简单、分辨力高、动态特性好、抗干扰能力强等优点， 在超精密加工、高精度定位、高精度测量等领域得到了越来越广泛的应用。 本文以变极距型电容位移传感器的测距原理为理论基础，结合数字化的测 量电路与相关数据处理方法，完成了电容式微位移测量系统的研制工作。首 先，通过具体分析，设计并制作出能满足本文实际测量需求的传感器探头，对 比当前几种常用电容检测与转换电路的优缺点，结合本文设计的传感器在测量 场合上有一定限制，测量电路需尽量简化的实际需求，提出了以 AD7747 芯片 为核心的数字化测量电路，并将其内置于传感器探头，减小了传感器整体尺 寸。其次，将位移测量系统划分为主控模块、信号隔离模块、数显模块与数据 通信模块，并进行了相应的软、硬件设计。此外，将上位机测量软件分为两种 模式：系统调试模式与系统测量模式，并分别对其进行了软件设计。之后，设 计并搭建了位移测量系统的标定平台，通过间接标定的方法完成了位移测量系 统的标定工作，获取了一组对应的电容—位移数据，并对该组数据进行了三次 样条插值处理，得到了本文位移测量系统的电容—位移测量曲线。最后，为提 高测量系统精度，减小位移测量系统在特定测量环境下的测量误差，获取能真 正适用于当前测量环境的电容—位移测量曲线，本文分别提出了位移测量系统 在调试模式与测量模式下的数据补偿措施，并给出了具体的位移求取方法。 最终，利用得到的电容—位移测量曲线，将位移测量系统在实验室环境下分 别进行了线性度实验、分辨力实验与重复性实验，通过实验得出了测量系统的相 关静态性能指标：本文研制的电容式微位移测量系统的线性度优于 0.39%，分辨 力达到 0.68μm，重复性为 0.63μm。 关键词：电容传感器，微位移测量，AD7747，数字化，插值 I Abstract With the rapid development of science and technology and increasing demand for industrial production, people put forward higher and higher requirements for precision measurements. Capacitance micrometer technology as an important means of non-contact decay displacement measurement, due to the measuring instrument has the advantages of simple structure, high resolution, good dynamic characteristics, strong anti-jamming capability, which has been more and more widely used in the ultra precision machining, precision positioning, precision measurement, and other fields. This paper is based on the distance measurement principle of the changeable pole pitch type