光学薄膜制备中膜厚监控系统.pdfVIP

光子学器件与工艺 教 师：张荣君副教授 办公室：微电子搂B202室 电 话 E-mail：rjzhang@fudan.edu.cn 光科学与工程系 提纲 光学薄膜 光学薄膜 光学镀膜材料 光学镀膜材料 光学薄膜制备的厚度监控 光学薄膜制备的厚度监控 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 光学薄膜 所谓光学薄膜，首先它应该非常薄。 然后它应该会产生一定的光学效应。 那么要薄到什么程度呢？ 定性的讲：它的厚度应该和入射光波长相比拟 物理意义上讲：能引起光的干涉现象的膜层 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 与光学薄膜技术密切相关的产业 眼镜镀膜AR 幕墙玻璃AR 滤光片 液晶领域ITO膜 车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片 光通信领域：DWDM、光纤薄膜器件 红外膜 激光领域激光反射腔高反射膜 CD、DVD驱动器 投影显示 数码领域 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 光学薄膜在光学系统中的作用 提高光学效率、减少杂光。如高效减反射膜、高反射膜。 实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就 是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。 通过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带通滤 光片、长波通、短波通滤光片。 实现某些特定功能。如ITO透明导电膜、保护膜等 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 当前最热门的应用领域 1、数码相机用的红外截止滤光片(IR-CUT) 2、投影显示光学系统包括LCD、DLP 、 LCOS 3 、光通信：DWDM (dense wavelengh division multiplexer)滤光片 4、减反射膜永远的热门 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 光学薄膜的类型 根据其作用，可以简单的分为 1、减反射膜或者叫增透膜 2、分束膜 3、反射膜 4、滤光片 5、其他特殊应用的膜 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 一、减反膜 1、减反膜的作用 o 增加光学系统透过率 o 减少杂散光 o 提高象质 o 增加作用距离 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 一、减反膜 2、减反膜按层数分类 o 单层减反膜 复旦大学 张荣君 rjzhang@fudan.edu.cn 一、减反膜 o 双层减反膜 单层膜、λ/4-λ/4和λ/2-λ/2型双层增透膜理论曲线 5 4 e c n 3 a t c e l f e R 2