MEMS薄膜材料热学参数测试结构分析.pdfVIP

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2019-01-11 发布于安徽
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MEMS薄膜材料热学参数测试结构分析.pdf

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目录摘要……………………………………………………………………………………………………………………………………………………．．I AbStract…………………………………………………………………………………………………………………………………………………．II 目录……………………………………………………………………………………………………………………………………………………．Ill 第一章绪论……………………………………………………………………………………．．．．………………．1 1．1MEMS概述………………………………………………………………………………………………．1 1．2课题背景及意义…………………………………………………………………………………………．2 1．3MEMS薄膜材料热学参数测试结构的研究进展………………………………………………………．．2 1．3．1热膨胀系数测试结构研究进展…………………………………………………………………．．3 1．3．2塞贝克系数测试结构研究进展…………………………………………………………………．．7 1．4MEMS加工工艺…………………………………………………………………………………………15 1．4．1体硅MEMS加工工艺…………………………………………………………………………．．15 6 1．4．2表面MEMS加工工艺…………………………………………………………………………．．1 1．4．3 7 1．5论文的主要工作…………………………………………………………………………………………22 第二章单层膜的热膨胀系数测试结构…………………………………………………………………………23 2．1测试结构与理论分析……………………………………………………………………………………23 2．1．1测试结构…………………………………………………………………………………………23 2．1．2理论分析…………………………………………………………………………………………24 2．2有限元模拟与分析………………………………………………………………………………………25 2．2．1有限元模拟与分析………………………………………………………………………………25 2．2．2修正因子的确定…………………………………………………………………………………27 2．3测试方法和步骤…………………………………………………………………………………………32 2．4实验与误差分析…………………………………………………………………………………………32 2．4．1版图设计…………………………………………………………………………………………32 2．4．2测试及误差分析…………………………………………………………………………………33 2．5小结………………………………………………………………………………………………………………………………………．‘35 第三章塞贝克系数测试结构……………………………………………………………………………………36 3．1理论基础…………………………………………………………………………………………………36 3．2测试结构与测试方法……………………………………………………………………………………38 3．2．1测试结构…………………………………………………………………………………………38 3．2，2测试方法…………………………………………………………………………………………40 1 3．3有限元模拟分析与验证…………………………………………………………………………………4 3．4实验与误差分析…………………………………………………………………………………………44 3．4．1版图设计………………