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靜 電 的 概 念 三種過電應力 雷電 靜電產生的原理 靜電產生的方式 靜電在哪裡? 接觸性生電 摩擦生電 傳遞生電 剝離生電 噴射生電 熱電子放出生電 工作場所中常見的靜電產生物質或活動 物質產生靜電大小排列表 人體安全 人體電位元器件承受力 靜電衝擊 對 ESD 敏感元件 元件被 ESD 破壞的型態 元件被 ESD 破壞的型態 過大的電流通過接面時，產生極大的熱量，使得接面崩熔。此種破壞是屬於接面短路。 元件被 ESD 破壞的型態 　　由於過大的電流流經金屬層，並在較脆弱的地方產生，由於 此種破壞經常是伴隨著接面短路或是氧化層短路之後發生故屬於 所謂的二次崩潰（Secondary Breakdown）。而其現象為斷路。 基板組件(PCBA) Printed circuit board assembly ESD 如何損壞產品 人體模式 機械模式 帶電器件模式 塵粒污染 靜電放電之電磁干擾( EMI ) 靜電 – 隱形殺手 五個基本靜電防護要求 靜電防護的基本思路 (1) 靜電防護的基本思路 (2) 靜電防護的基本思路 (3) 如何防護靜電 ? 本方法乃是靜電防護最好的辦法，但在設計半導體的抗靜電 電路時，必須考慮到電路產生熱的影響、反應時間、 最大電壓 、 能量傳導、 寄生電容等等因子，故並非隨心所欲可以辦到。 因此靜電防護仍必須靠一些治標的方法。 1. 避免靜電產生 (B) 抗靜電塗佈法(Anti-Static Coating) – 有部份溶液可 噴灑於絕緣體表面降低物體表面電阻，達到靜電防 護的目的。但此種塗層，日久會脫落而漸漸失去其 效果，故必須考慮其有效期。 2. 疏導或中和靜電法 (A) 疏導法(Bleed-Off) – 典型的疏導法就是配帶靜電環(Wrist Strap)，是將人體產生之靜電電荷，藉由導線將所產生之電荷傳導出去。通常靜電環中會接一1MΩ之接地電阻，以保護人員工作之安全. 3. 屏蔽靜電場（Field Shielding） 防靜電專有名詞- 1 ˙ESDS(Electrostatic Discharge Sensitive)Item 靜電放電敏感零組件 對於靜電放電敏感(易被ESD破壞)的元件.組件或模組 ˙SSZ(Static-Safe Zone)靜電安全區域 內部任一點均符合Basic Rule之要求的區域 ˙SSW (Static-Safe Workstation)靜電安全工作站 ˙Esd Protective Workstation (SSW) 靜電放電防護工作站 內涵ESDS Item的特定工作區域.必須符合SSZ之要求.通常 其範圍較小如SMT線.手插件區.測試區.重工區 防靜電專有名詞- 2 防靜電專有名詞-３ 本篇完 (由美國ESD學會定義) 1.確定ESD保護區域, 靜電敏感元件將在此區域內被加工或 接觸. 2.確定ESD保護區中, 哪些靜電敏感元件需要被加工或接觸? 3. ESD區域內, 要確保不要被不必要或未經防靜電處理的物 體污染. 4. 建立合適的防靜電操作規程或制度, 最大限度的限制靜電 的產生, 並控制靜電壓值低於大多數敏感元件的破壞值. 提供可靠, 安全的靜電放電通路. 5. 靜電防護制度化, 經常檢測ESD防靜電保護區的指標, 確 保靜電是在規定的檢測標準範圍之內. 對出現的問題做出 文字紀錄並更正. 31/41 1. 靜電對策的基本思考 1)防止靜電發生.– 100V以下. 2)防止靜電從外部侵入.– 1秒內100V以下. 3)發生的靜電通過接地放電. 2. 對策方法 1)維持溼度50%以上（上限值為70%） 工作台上的硅脂膠墊MAT 接近化學物 帶電防止處理 2KV 4KV 6KV 8KV 20% 40% 60% 80% 100% （相對溼度） 靜電發生量 - 靜電對策最基本的是除了防止靜電產生外，還要維持溼度管理50%-70%. 32/41 2) 冷熱溼度管理 靜電引起的不良多發生在冬季和夏季居多，這說明對溼度沒有進行管理。（在北方冬季更容易發生，這是由於溼度低且乾燥。但在潮濕的夏季也有發生，這說明溼度未管理好是由於空調使濕度差急遽變化引起的）. 3) 帶電體全部接地 - 帶靜電環（內藏 1Mohm） - 防靜電服 - 使用防靜電墊 - 使用導電容器 - 設備, 儀器接地等等 33/41 4) 高阻接地原理 5) 材質的變更 峰值電流 (Ip) 延遲時間 接地電阻0Ω(電流急遽洩放) 接地線電阻1MΩ 工作原理圖 防止瞬間放電 使用帶電困