材料分析方窝法第九章其他显微分析方法简介.pptVIP

第九章 其它显微分析方法简介 内容提要： 第一节 X射线光电子能谱(XPS) 第二节 扫描探针显微镜(SPM) 第一节 X射线光电子能谱 引言 一、基本原理 二、X射线光电子能谱仪 三、X射线光电子能谱分析方法 四、XPS的特点及应用 引言 1、表面的特殊意义 “表面”的概念：把一个或几个原子层厚度的表面相称为“表面”。 表面相的特殊性在于它所处的环境与基体不同。 表面具有与基体不同的力学、光学、磁学、电学和化学性能，以致影响材料的整体性能。 2、表面科学的应用 对于表面的许多物理化学性质性质的研究能够揭露一些表面现象的本质。 例如： ◇ 催化与表面吸附层和表面原子结构的关系； ◇ 逸出功与表面吸附层和表面原子结构的关系； ◇ 其他：表面钝化、活化、腐蚀、脆性、发光等现象。 3、表面分析技术的发展 表面科学的发展：主要发展始于20世纪60年代，它的两个最主要的条件是： —超高真空技术的发展； —各种弱信号检测技术不断出现。 此外，需要电子及计算机技术的突破性进展。 与材料科学的联系：表面分析技术的发展与材料科学的发展密切相关，它们相互促进。 表面分析方法 4、电子能谱分析 对表面成分的分析，有效的工具是20世纪70年代迅速发展起来的电子能谱分析。 电子能谱分析：采用单色光源(如X射线、紫外光)或电子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然后测量这些电子的产额(强度)对其能量的分布，从中获得有关信息。 常用的电子能谱仪：X射线光电子能谱仪(XPS)和俄歇电子能谱仪(AES)两种。 5、X射线光电子能谱的发现 在对硫代硫酸钠(Na2S2O3)的研究中观察到化学位移效应。 如图：XPS谱图中出现两个完全分开的S2p峰，而且两峰的强度相等：但在硫酸钠（Na2SO4）的XPS谱图中只有一个S2P峰， 表明：Na2S2O3中的两个硫原子(+6价和-2价)的化学环境不同造成了内层电子结合能相当显著的化学位移，在电子能谱图上亦清楚可见。 一、基本原理 光电子谱仪分析样品成分的基本方法，就是用已知光子照射样品，然后检测从样品上发射的电子所带有的关于样品成分的信息。 XPS：用X射线激发内层电子(芯电子)，然后分析这些电子的能量分布，从而进行元素的定性分析和化学状态分析等。 1、光电效应 物质受光作用放出电子的现象称为光电效应 。（如图） 在光激发下发射的电子，称为光电子。 当一束能量为hν的单色光与原子发生相互作用，而入射光量子的能量大于激发原子某一能级电子的结合能时，此光量子的能量很容易被电子吸收，获得能量的电子便可脱离原子核束缚，并带有一定的动能从内层逸出，成为自由电子。 在光电效应过程中，根据能量守恒原理： h?＝ Eb＋ Ek 式中， Eb—电子的结合能； Ek—电子动能。 电子结合能 Eb的物理意义（介绍两种情况）： ① 对孤立原子或分子，Eb指某壳层电子激发为真空中自由的静止光电子所需要的能量； ② 对于导电固体样品， Eb指固体样品中某内层电子跃迁到费米能级所需要的能量。 因此，对于导电固体样品： h?＝ Eb ＋ ? ＋ Ek X射线能量(h?)用于三部分（如图）： ① 内层电子跃迁到费米能级，即克服该电子的结合能Eb； ② 电子由费米能级进入真空成为静止电子，即克服功函数? ； ③ 自由的光电子的动能Ek 。 2、测试原理 当样品置于仪器中的样品架上时，由于样品材料的功函数(?)和谱仪材料的功函数( ?)不同，使样品与仪器样品架材料之间将产生接触电势 ； 若?? ，则： ，此接触电势将使光电子向谱仪入口的运动加速，使其动能从Ek增加到Ek Ek ＋ ?＝ Ek ＋ ? h?＝ Eb＋ Ek ＋ ? 于是， Eb ＝ h? －Ek － ? 式中： h?为已知量； ? ‘在仪器中为定值（约4eV）。 通过测量出光电子的动能Ek ，就能计算出Eb 。 3、X射线光电子能谱图 如图： 纵坐标：光电子产额(光电子强度)。光电子产额通常由检测器计数或计数率(单位时间的平均计数)表示。 横坐标：光电子动能(Ek)或电子结合能(Eb)。 元素的特征峰：表征某元素芯电子结合能的一系列光电子谱峰。 元素的主峰：元素最强最尖锐的特征峰。 谱峰命名： 光电子能谱的谱线常以被激发电子所在能级来表示。 如K层激发出来的电子称为1s光电子，L层激发出来的光电子分别记为2s,2p1/2,2p3/2电子等等。 谱峰的化学位移 ： 原子所处化学环境不同，使原子芯电子结合能发生变化，相应地使电子能谱谱峰位置发生移动，称为谱峰的化学