量子效应和器件结构参数对隧穿晶体管特性的影响-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 复旦大学硕士 复旦大学硕士学位论文 第一章 引言 第 一 章 引 言 1. 1 研 究 的 背 景 与 意 义 1958 年德 克萨斯仪器公 司 （T 1) 的基 尔 比 （Jack K ilby ) 等人 发 明 了世 界上 第 一 块 集 成 电路 （IC ) []? 自此 之 后 ，半 导 体 行 业 进 入 了集 成 电路 时代 。经 过 50 余 年 的 发 展 ，集 成 电路 己经 从 最 初 的 小 规 模 集 成 （S S I) 起 步 ，先 后 经 历 了 中规 模 （M SI)、大 规 模 （L S I)、 超 大 规 模 （V L S I)、特 大 规 模 （U L S I )，发 展 到 目前 的 极 大 规 模 集 成 （G S D 和 系 统 芯 片 （S O C ) 。单 个 芯 片 上 集 成 的元 件 数 已经 发 展 到 目前 的几 亿 个 甚 至 几 十 、上 百 亿 个 [2]。随 着 集 成 电路 的迅 速 发 展 ，其 应 用 范 围 变 得 越 来 越 广 泛 。如 今 ，除 了交 通 和 通 信 等 人 们 的 日常 生 活 领 域 以 外 ，国家 的 国 防 和 航 天 等 领 域 到 处 可 以看 到 集 成 电 路 芯 片 的 踪 迹 。可 以 说 ，今 天 社 会 的 繁 荣 离 不 开 集 成 电 路 芯 片 。 集 成 电路 的 发 展 过 程 实 际 上 就 是 半 导 体 器 件 的特 征 尺 寸 不 断 缩 小 、集 成 度 不 断 提 高 、 性 能 价 格 比 不 断 降 低 的 过 程 。 In tel 公 司 的 创 始 人 之 一 摩 尔 （G o rd on M o o re ) 1% 5 年 曾预 言 了集 成 电 路 产 业 的 发 展 规 律 ： 即 每 18 个 月 ，相 同面 积 大 小 的 芯 片 内 晶 体 管 数 量 会 增 加 一 倍 ，这 就 是 著 名 的摩 尔 定 律 [3]。 器 件 尺 寸 在 一 定 范 围 内 的 缩 小 会 增 强 器 件 的特 性 ，但 是 当 器 件 的 尺 寸 缩 小 到 一 定 程 度 时 ，器 件 的特 性 反 而 会 变 差 。这 主 要 是 由于 器 件 的 小 型 化 所 产 生 的 各 种 效 应 引起 的 ，其 中最 主 要 的 是 短 沟 道 效 应 ，即 当沟 道 长 度 小 到 可 以和 漏 结 、源 结 的 耗 尽 层 厚 度 相 比拟 时 ，栅 对 沟 道 的控 制 能 力 降 低 ，导 致 晶体 管 不 能 在 很 小 的 电 压 范 围 内实 现 快 速 的 开 启 和 关 断 。为 了减 小 短 沟 道 效 应 对 器 件 特 性 的影 响 ，使 得 器 件 能 够 进 一 步 的小 型 化 以 满 足 集 成 电路 发 展 的 需 求 ，人 们 试 图通 过 改 变 器 件 的 结 构 、材 料 甚 至 开 发 具 有 不 同工 作 原 理 的 晶 体 管 来 实 现 这 一 目标 。经 过 大 量 科 研 人 员 的 不 懈 努 力 ，国 际 上 已经 提 出和 制 备 了 许 多 新 型 器 件 ，比如 双 栅 场 效 应 晶体 管 （D oub 丨e G ate F E T ) 三 栅 场 效 应 晶 体 管 （F in -F E T ) 围栅 场 效 应 晶 体 管 （G ate A llA ro u n d F E T ) I I I- V 族 场 效 应 晶 体 管 （III-V F E T ) [2】-22]以 及 隧穿场效应 晶体管 （T unne丨ing F E T ) 等 。本论 文 的研 究工作主要 针对 險穿 场 效 应 晶体 管 （简 称 險 穿 晶 体 管 或 T F E T ) 的特 性 和 可 靠 性 。 1 复旦大学 复旦大学硕士学位论文 第一章 引言 1.2 隧 穿 晶 体 管 的 基 本 特 性 由 于 传 统 场 效 应 晶 体 管 存 在 亚 阈 值 摆 幅 的 限 制 （室 温 下 @ 6 0 11^ /(160 )，导 致 器 件 很 难 满 足 未 来 集 成 电路 对 低 功 耗 的应 用 要 求 。而 險 穿 晶体 管 因 为 其 独 特 的 工 作 原 理 使 其 亚 阈 值 摆 幅 有 可 能 小 于 6 0 m V /d ec , 这 对 于 减 小器 件 工 作 电压 ， 降 低 功 耗 有 很 大 的 帮 助 ， 所 以 它 被 看 成 是 未 来 能 够 应 用 于 低 功 耗 领 域 的候 选 器 件 之