液滴透镜在电场中的变形研究-光子学报.PDFVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ １１ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．１１ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ １１ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ２００９ 液滴透镜在电场中的变形研究 詹珍贤，王克逸，丁志中，姚海涛 （中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，合肥 ２３００２７） 摘 要：利用电场作用操控液滴面形获得非球面液滴透镜，并实时检测其光学性能，利用紫外光固 　 化技术使液滴透镜固化得到固体非球面透镜 实验测量了液滴透镜的面形并经过图像处理提取面 ． 形轮廓，经多项式拟合得出液滴透镜的面形表达式 比较了不同强度电场作用下的液滴透镜面形， ． 计算了主曲率随电场的变化规律，讨论了液滴透镜在电场中的变形机制；根据透镜面形表达式，采 用光线追迹法得出了液滴透镜的焦距随电场的变化规律，结合 ＺＥＭＡＸ软件计算了３５５０Ｖ时液 滴透镜的最大波像差为 个波长， 为 ，及光学传递函数等参数，计算了所制作 ０．３２ ＳｔｒｅｈｌＲａｔｉｏ ０．７４ 的非球面透镜的像差，为低像差非球面透镜的研制提供了依据． 关键词：微光学；液滴透镜；电场作用；非球面透镜 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４３５．１ Ａ １００４４２１３２００９１１２９００４ 　　　　 　　　　 实时检测其光学性能的新方法 选择透光的紫外光 ０ 引言 ． 　 固化材料，在实时进行光学检测的条件下，利用电场 微透镜是微光学领域的重要元件之一 近年来， 作用操控液滴透镜的面形，在检测到较好的透镜面 ． ［］ ［］ １ ２ 微透镜及其阵列器件在光互联 、光学神经网络 、 形和聚焦状态时，采用紫外光固化技术使液滴透镜 ［］ ３ 集成成像 等领域得到了广泛的应用，其制作技术 固化，可以制作具有良好成像和聚焦性能的非球面 ［ ］ 也得到了飞速的发展 目前，制作微透镜的方法主要 １２ ． 微透镜 本文比较了不同强度电场下的液滴透镜 ． ［］ ４ 有金刚石切削、光刻胶热熔成型法 、模压成型 面形，研究了液滴透镜的主曲率和焦距随电场的变 ［］ ［］ ［］ ５ ６ ７ 法 、光刻