探针方法测量半导思体的电阻率34.pptVIP

;〈一〉实验目的 〈二〉实验原理 〈三〉仪器结构特征 〈四〉操作步骤 〈五〉注意事项 〈六〉技术参数;一 实验目的;二 实验原理;材料电阻率;（a）块状和棒状样品体电阻率测量： 由于块状和棒状样品外形尺寸与探针间距比较，合乎于半无限大的边界条件，电阻率值可以直接由（１）、（２）式求出。;（b）簿片电阻率测量 簿片样品因为其厚度与探针间距比较，不能忽略，测量时要提供样品的厚度形状和测量位置的修正系数。;电阻率值可由下面公式得出：;2、带扩散层的方块电阻测量 当半导体薄层尺寸满足于半无限大时： 若取I ＝ 4.53 I0，I0为该电流量程满度值，则R0值可由数字表中直接读出的数乘上10后得到。;三 仪器结构特征;仪器电源经过DC-DC变换器，由恒流源电路产生一个高稳定恒定直流电流，其量程为10μA、100μA、1mA、10mA、100mA，数值连续可调，输送到１、４探针上，在样品上产生一个电位差，此直流电压信号由２、３探针输送到电气箱内。具有高灵敏度、高输入阻抗的直流放大器中将直流信号放大（放大量程有0.2mV、2mV、20mV 、200mV、2V），再经过双积分A/D变换将模拟量变换为数字量，经由计数器、单位、小数点自动转换电路显示出测量结果。;为克服测试时探针与样品接触时产生的接触电势和整流效应的影响。本仪器设立有“粗调