MEMS并行测试系统MEMSparallelmeasurementsystem.pdf

MEMS parallel measurement  system solution 微机电微机电(MEMS)(MEMS)并行测试系统解决并行测试系统解决 方案 MEMS 测试系统 MEMS Test system •• 微机电微机电(MEMS)(MEMS)测试系统包含的重要仪器测试系统包含的重要仪器，能够对能够对MEMSMEMS加速计加速计 和陀螺仪进行完整的特征记述。系统中，源测量单元(SMU)可实 现常用DC参数测量（开路/短路、泄漏测试），高精度数据采集 模块可在广阔的动态范围内实现精确的声音与振动测量模块可在广阔的动态范围内实现精确的声音与振动测量，高速高速 数字I/O可借由常用通信协议（SPI、I2C、JTAG ）连接MEMS设备， 开关模块能够将DC仪器路由至多个测试点。 •• CharacterizeCharacterize MEMSMEMS AccelerometersAccelerometers andand GyroscopesGyroscopes. • The MEMS Parallel Test System solution features the instruments  you need to take common measurements on MEMS devices  includingincluding open/shortsopen/shorts, standbystandby currentcurrent, referencereference IDDIDD, positivepositive andand  negative continuity testing, leakage current, input and output logic  thresholds, and dynamic measurements. •• TheThe MEMSMEMS parallelparallel TestTest SystemSystem includesincludes thethe keykey instrumentsinstruments youyou  need to fully characterize MEMS accelerometers and gyroscopes. • high‐speed digital I/O to interface to the MEMS device via common  communiicatition prottocolls (SPI(SPI, I2CI2C, JTAG)JTAG). 方案总体构架 Total Solution •• 总体构架总体构架：方案分为硬件和软件两部分方案分为硬件和软件两部分。 • 硬件部分：数据采集处理和上传采用CPU模块，CPU模块通过背板并行总 线访问操作各个IO测试模块，其中IO模块包括：MEMS专用数字量测试模 块块，，模拟量输入模块模拟量输入模块，，模拟量输出模块等模拟量输出模块等。。IOIO模块是可配置的模块是可配置的，，最大可以最大可以 配置32个IO模块。上位机显示部分采用工业平板电脑，工业平板电脑通过 以太网和CPU模块通讯。DUT通过插座和系统相连。 • 软件部分软件部分：采用采用工业的的SCADA软件软件。负责负责上位机参数设置位机参数设置，波形图波形图显示等示等。 • Total Solution :Divide the solution into two parts: hardware and software. • Hardware: CPU module communicate with IO module through the back panel  module. The syystem can be scalable ,, the measurement card can be add upp to  16 .Industrial Panel PC(ULCS ) communicates with the mother back panel via  the Ethernet connecti