飞秒激光多光子吸收三维微纳制备基础研究.PDF

公示内容  项目名称：飞秒激光多光子吸收三维微纳制备基础研究  提名者：中国物理学会  提名意见： 红外飞秒激光可以深入透明介质内部，通过多光子吸收实现突破光学衍射极限 的三维微纳制备。但由于多光子吸收、电离、介质改性等高度非线性过程的复杂性 和相互作用，最终结构形貌难以精确调控。该项目从多光子吸收电离的基本问题出 发，揭示非线性相互作用机理，确定关键参数，提出新的制备技术，实现多种高精 度可集成光子学器件原型的制备，为集成光子学应用奠定了重要基础。（1）测量了 飞秒激光与石英等相互作用的电子声子碰撞时间等关键参数，发现并解释了多次聚 焦和长丝等新现象，提出调控焦点形状的方法，确定了材料改性方式的决定因素， 制备了纳微尺度光波导、光学带隙结构、光逻辑门等。（2 ）利用自建的高分辨电子- 离子符合测量系统，精确测量了飞秒激光多光子电离电子在零动量附近的精细能谱 和动量谱，发现了长程库仑势引起的电子多次散射和电离抑制现象。 （3 ）发展了 超高分辨双光子聚合方法，获得的最小特征尺度为20 纳米的聚合线极大地突破了400 纳米的衍射极限，精密聚合制备光学微腔，其模式品质因子接近理论的极限值。在 金属覆盖的微腔体系中发现了一种特别有利于生物传感的外部回音壁模式。8 篇代表 性论文包括 3 篇 Phys. Rev. Lett.和 1 篇 Nano Lett.等，被 SCI 他引 425 次，部分成果 入选教育部十大科技进展。 鉴于此，中国物理学会郑重提名该项目申报国家自然科学奖二等奖。  项目简介 红外飞秒激光可以深入透明介质内部诱导多光子吸收产生电离，实现突破光学 衍射极限的三维微纳制备，成为高性能集成光子学功能器件制备的重要手段。项目 针对多光子吸收、电离、介质改性高度非线性过程的复杂性，以及产生的等离子体 和介质性质的改变导致激光脉冲焦点的畸变，制备的结构形貌难以控制等问题，在 器件制备层面上揭示了飞秒激光诱导玻璃电离的机制，测定相互作用中的关键数据， 优化激光参数，大大提高了制备精度；在原子分子层面上更加精确揭示了电离机制， 为调控电离电子的动力学行为和高精度微纳制备提供指导；发展了超高分辨飞秒激 光双光子聚合方法，获得了 20 纳米最小特征尺度的聚合线，并制备出高品质三维光 学微腔等器件。取得的重要成果如下： 1. 揭示了飞秒激光诱导玻璃的电离机制，优化激光参数，提高了三维微纳制备 精度：控制飞秒激光诱导玻璃微纳尺度改性是三维微纳制备的基础，但是高光功率 下的非线性相互作用诱导的多次聚焦和等离子体通道，引起激光焦点严重畸变或成 丝，降低制备精度并甚至导致加工失败。项目建立了飞秒时间分辨的阴影成像和干 涉成像相结合的表征系统，测定了石英玻璃中电子密度、等离子体寿命和电子声子 碰撞时间等关键数据，确定了材料物性改变的决定因素。优化激光参数，制备了高 质量光波导、光学带隙结构和光逻辑门等，为集成功能器件的制备奠定了重要基础。 非线性光学专家 Downer 教授等多个研究组均采用项目测定数据作为计算依据，生物 光学专家 Vogel 教授、非线性传输专家 Mysyrowicz 教授等在 Chem. Rev.综述和 Phys. Rep.综述等论文中引用项目的成果。 2. 在原子分子层面上更加精确地揭示了电离机制，为飞秒激光与物质相互作用 的高阶非线性过程的调控提供指导：项目研制了国际先进国内首套高分辨电子-离子 符合测量系统，精确测量了飞秒激光电离电子在零能零动量附近的精细能谱和动量 谱，发现了离子库仑势引起的电子多次散射对电子能谱结构的重要影响，发现电离 电子可以被激发到里德堡轨道，并存在电离抑制现象和原子稳定化行为。研究揭示 了飞秒激光与物质相互作用的高度非线性现象和电离电子的动力学行为，加深了对 多光子吸收电离的认识，进而为高精度微纳制备提供指导。工作入选“2012 年度中国 高等学校十大科技进展” ，得到了三步电离模型提出者 Corkum 教授、符合测量技术 的先驱Ullrich 教授、强场近似理论的提出者 Faisal 教授多次正面引用。 3. 发展了超高分辨飞秒