单晶铌酸锂薄膜上质子交换波导与光子器件的研究凝聚态物理专业论文.docxVIP

指导教师：厨教授胡卉 指导教师：厨教授 胡卉 教授 单晶铌酸锂薄膜上光子晶体和质子交换集成光子器 件的研究 蔡璐彤 (申请山东大学博士学位) 本论文的研究工作得到以下项目资助： 国家自然科学基金项目国家自然科学基金项目国家自然科学基金项目国家自然科学基金项目国家自然科学基金项目万方数据 目录中文摘要 目录 中文摘要 ．I 英文摘要 ．V 符号说明 ．X 第一章绪论 ．1 第二章基本理论 12 2．1光波导的波动光学理论 13 2．2光子晶体 17 2．3电光效应 20 第三章实验技术 23 3．1棱镜耦合 24 3．2端面耦合 26 3．3 Fabry—Perot方法测损耗 ．27 3．4光刻掩膜技术 29 3．5聚焦离子束系统 32 3．6质子交换技术 35 第四章单晶铌酸锂薄膜上质子交换条形光波导的研究 37 4．1高折射率差光波导 38 4．2退火质子交换低损耗光波导 45 4．3短时间质子交换法形成条形光波导 53 第五章单晶铌酸锂薄膜上质子交换集成光子器件的研究 63 5．1 Y分支器 ．64 5．2相位调制器 69 第六章单晶铌酸锂薄膜上光子晶体结构的研究 79 6．1二维平板光子晶体的制备与研究 80 6．2单模光子线和光子晶体谐振腔的制备与研究 84 第七章总结 92 万方数据 7．1主要结果 7．1主要结果 93 7．2主要创新点 96 攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励 ．97 致谢 ．．99 附两篇英文论文 100 万方数据 CoNTENTSAbstract(in CoNTENTS Abstract(in Chinese) I Abstract(in Einglish)．．．． ．．．．． ．．．．．． ．．．．． ．．．．．． ．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．．V Symbol List )( Chapter 1 Preface 一l Chapter 2 Fundamental theory．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ． ． ．．．．．．． ．12 2．1 Optical waveguide theory ．13 2．2 Photonic crystal．．． ． ．．．．．．． ．．． ．．．． ．．． ．，．． ．．．．．．．．．． ． ．．17 2．3 Electric—optical effect．．．．．．．．．．．． ．．．．． ．．．．．． ．．．．．．．． ．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．．．．．．． ．20 Chapter 3 Experiment methods ．．．．．．．．．．．．． ．．．．．． ．．．．．．． ．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．23 3．1 Prism coupling．．．． ．．．．．． ．．．．． ．．． ．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．． ．．．，．24 3．2 End-face coupling．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26 3．3 Loss measurement by Fabry—Perot method ．．． ．．，．．．．．． ． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27 3．4 Photolithography 29 3．5 Focused ion beam ． 32 3．6 Proton exchange．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．，．．．．．．．．．．．．．，．．．．．．．．．．．．．35 Chapter 4 Proton exchange channel waveguides in single—crystal lithium niobate thin film ．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．． ．．．．．． ．．．．．． ．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．．37 4．1 High index contrast waveguides．．． ．．．．．． ． ．．． ．．．．．．． ．．．．．． ．．．．．． ．38 4．2 Anneal proton exchange low—loss waveguides ．．．．．． ．．．．．．．．． ．．．．．．．．45