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                双靶位柱形磁控溅射源试验平台-浙江大学试验室与设备管理处
                    
                                                             
                    
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    :           2014-06-12 
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                     20133 
                                                  
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                 Platform of analysis and optimization of rotatable cylindrical mag 
                                                                    1 
                 netrons 
                  
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         1. 5脳10-4 Pa 2. 15 8脳10-4 Pa 3. 1200 l/s 
         8 l/s   4.  5.  
         60 0 mm; 6. 54 mm72 mm  
         600 mm4N4N4N 5N5N 
          7. 2  
         80% 8.  9.  20 kW 10. 
         2 kW 11.  12.  
      
           13.  14. 0.5 m2 1 5.  
         卤5% 16. 2 kgf/ mm2 17. PLC +  
          18.   
           
            
           
  
           
      
      
      
      
      
      
    
            
            
             
             
             
              
             
             
            
     
     
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