双靶位柱形磁控溅射源试验平台-浙江大学试验室与设备管理处.PDF

双靶位柱形磁控溅射源试验平台-浙江大学试验室与设备管理处.PDF

  1. 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
双靶位柱形磁控溅射源试验平台-浙江大学试验室与设备管理处

40 聽 : : : : : : : 2014-06-12 聽 聽 聽 聽 20133 1 2 3 4 5405 6 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 Platform of analysis and optimization of rotatable cylindrical mag 1 netrons * * * * 1. 5脳10-4 Pa 2. 15 8脳10-4 Pa 3. 1200 l/s 8 l/s 4. 5. 60 0 mm; 6. 54 mm72 mm 600 mm4N4N4N 5N5N 7. 2 80% 8. 9. 20 kW 10. 2 kW 11. 12. 13. 14. 0.5 m2 1 5. 卤5% 16. 2 kgf/ mm2 17. PLC + 18. 聽 聽0聽 // 聽 聽 聽聽1000聽聽/ 聽聽聽聽聽0聽 /聽1000聽/ 1 聽 Email * hjin@zju.edu.cn 1

文档评论(0)

fengruiling + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档