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基于RSM的SiC单晶片切割过程中切向锯切力的研究 摘要：通过响应血分析法対金刚石线锯——超声振动复合切割碳化硅(SiC)的工艺进行优 化。本试验采用中心组合设计方法，考察了线锯速度、工件进给速度、工件转速和超声波振 幅四因素对碳化硅切割过程屮切向锯切力的影响。运用响应曲而分析法，冋归出关于切向锯 切力的响应模型，进行响应面分析，确定了切割碳化硅的最佳工艺参数线锯速度为1.65m/s, 工件进给速度为0.025mm/min,工件转速为16r/min,超声波振幅为0.0018mm, SiC切割过 程中的切向锯切力的最小值为1.62No 关键词：响应Illi面法碳化硅切向锯切力 1引言 碳化硅又称金刚砂或耐火砂，是用石英砂、石焦油(或焦煤)、木屑(生产绿色碳化硅 时需加食盐)等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。其硬度仅次于金刚石，具冇高杨氏模量 (270?310 GPa)、较高导热率(172W/(m?°C))、耐热冲击性、高的比刚度、机械能各向同性 等一系列优良物理性质，在一些应用上成为最佳的半导体材料，并广泛应用于高频电子学、 高温电了学以及传感器技术等，在通讯、微电了、光电了、军事、航空航天、汽车和地质勘 探等领域有着广泛的应用前景〔切。对于SiC品体，因材料难以加工，内圆刀片急剧磨损， 常规的内闘切割机不能冇效地工作，现在广泛采川金刚石线锯——超声复合切割技术⑶。但 是在切割工艺参数的优化的研究报道并不是很多。 碳化硅(SiC)晶体很难生长，并且材料价格十分昂贵，同时用于切割碳化硅的金刚石 线锯价格很高，且切割碳化硅晶体效率本身不高。考虑到试验时I可、费用、试剂以及试验材 料消耗等原因，釆用多变量设计方法来设计试验方案。常用的多变量试验设计方法是正交设 计方法，但是止交设计法冇其局限性，不能在给定区域上提供因素和响应值Z间的明确函数 关系，从而无法确定整个区域上因索的最佳组合和响应值的最优值，此外，正交设计法无法 提供因素之间存在的交互影响。鉴于木试验值考虑四个因素且需要确定因素最优值，可以采 用响应曲|fli法(Response Surface Methodogy, RSM)⑷。响应曲|fli法冇中心组介设计法(Central Composite Design, CCD)和Box-Behnken设计法等，非常适合于多变最的试验设计，该方 法采用数学和统计学技术，将试验数据用多项式方程拟合，用方差分析评估拟合结果。它能 用于分析几个变量对能对结果的彫响，优化变量和水平参数，并能给出很好的三维视觉效果 图。其以最经济的方式、较少的试验次数和较短的时间对所选的试验参数进行全而的研究, 得出正确的结论，它的优越性被许多实验工作者所重视⑸。冃前该方法在生物工程领域应用 比较广泛，但是在金刚石线锯——超声复合切割方面的研究报道不多。 试验首次采用响应曲血法中的中心组合设计法(Central Composite Design, CCD)对影 响SiC切割过程中的切向锯切力的线锯速度，工件进给速度，工件转速，超声波振幅进行试 验设计，并对SiC晶体进行切割实验研究和工艺控制参数分析，建立并验证了和关的工艺模 型，从而为SiC单晶片的后续加工过程提供良好的表面质量和工艺参数。 2材料与方法 2.1材料 黑碳化硅，SiC质量分数95%,比重为3.20—3.25,纤维便度2840—3320kg/mm2； 金刚石线锯，采用不锈钢钢丝，胎体为镰，上镀JR2型金刚石燃粒，磨粒平均尺寸30 —40um,锯丝总长50m,平均直径0.29mm； 冷却液，采用1： 5稀释后的乳化液。 2.2试验装置 试验机床为WXD170型往复金刚石线旋转点切割机所改制的，X轴移动平台行 程:18O-3()()mm,进给速度可无级调整在0.005-18mm/min之间,Y轴移动平台行程： 18()-3()()mm,旋转速度在0-36r/min之间，可实现金刚石线锯与工件的点接触切割。 超声波发牛器，陕西师范大学H主研制的AQ-600超声波发生器。 切向锯切力测量仪，釆用北京吋代Z峰科技有限公司。 2.3试验设计 采用屮心组合设计法(Central Composite Design, CCD),对影响SiC切割过程屮的切 向锯切力的线线锯速度Vs、工件进给速度Vx、工件转度nw和超声波振幅a四因索为白变 量，根据单因素试验结果，取值范围分別为1.3m/s—1.9m/s, 0.025mm/min— .08mm/min, 8r/min—16r/min 和 0.0012mm—0.0018mmo CCD 设计的因素和水平见表 1. 白变量 未编码 水平 ?1 0 1 线锯速度(m/s) Vs 1.3 1.6 1.9 工件进给速度(mm/min) Vx 0.025 0.05 0.08 工件