铝钛共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究-液晶与显示.PDF

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２６ ２ Ｖｏｌ．２６Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２０１１ ４ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ａ ｒ．２０１１ ｑ ｙ ｐ ｙ ｐ 文章编号： （ ） １００７２７８０２０１１０２０１６１０４ 铝钛共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究 郭美霞 （山东理工大学 理学院，山东 淄博 ， ： ） ２５５０４９Ｅｍａｉｌｍｅｉｘｉａｕｏ １２６．ｃｏｍ 　 ｇ ＠ 摘 要：用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了铝钛共掺杂氧化锌（ ）透明导电薄膜，研究了溅 ＴＡＺＯ 　 射压强对 ＴＡＺＯ薄膜的微观结构和光电特性的影响。研究结果表明，所制备的ＴＡＺＯ薄膜为六角纤锌矿结 构的多晶薄膜，且具有 轴择优取向。当溅射压强为 时，薄膜的最小电阻率为 －４ · 。薄 犮 ７．５Ｐａ ３．３４×１０ Ω ｃｍ 膜的可见光区平均透过率大于 ８９％。溅射压强对薄膜的电阻率和微观结构有显著影响。 关 键 词：ＴＡＺＯ薄膜；透明导电薄膜；溅射压强；磁控溅射 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ３０４．２ Ａ 犇犗犐 １０．３７８８ＹＪＹＸ０１６１ 　　　 　　　 犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犪狀犱犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狕犪狋犻狅狀狅犳犃犾犜犻犆狅犇狅犲犱犣犻狀犮犗狓犻犱犲犉犻犾犿狊 狆 狆 ＧＵＯＭｅｉｘｉａ （ ， ， ， ） 犛犮犺狅狅犾狅 犛犮犻犲狀犮犲 犛犺犪狀犱狅狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犣犻犫狅 ２５５０４９ 犆犺犻狀犪 犳 犵 狔 犳 犵狔 　 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｒａｎｓａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｎ ＡｌＴｉｃｏｄｏｅｄｚｉｎｃｏｘｉｄｅｆｉｌｍｓｈａｖｅｂｅｅｎｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌ ｒｅ ｐ ｇ ｐ ｙｐ ， ａｒｅｄｂ ＤＣｍａｎｅｔｒｏｎｓｕｔｔｅｒｉｎ．Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｏｔｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｒｏｅｒｔｉｅｓｏｆ ｐ