微机电系统概述（王小静）.pdf

微机电系统概述微机电系统概述 机电工程与自动化学院机电工程与自动化学院 王小静王小静 微机电系统微机电系统((MEMSMEMS)) MEMSMEMS是适用于批量制作的，集微型机是适用于批量制作的，集微型机 构、微型传感器、微型执行器、信号处理和构、微型传感器、微型执行器、信号处理和 控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完 成特定功能的微系统。成特定功能的微系统。 血液压力传感器 微飞行器  MEMSMEMS与相关学科领域与相关学科领域 MEMS的特点 1 ）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗 能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 2 ）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅 的强度的强度、、硬度和杨氏模量与铁相当硬度和杨氏模量与铁相当，，密度类似密度类似 铝，热传导率接近钼和钨。 3 ）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上 可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的 MEMS 。批量生产可大大降低生产成本。 4 ）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或 致动方向的多个传感器或执行器集成于一体， 或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把 多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系 统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成 可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS 。 5 ）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、 制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等 多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多 尖端成果。 微机电系统研究得到了美国、日本、欧洲等各 国政府机构、企业界、高等学校与研究机构的高度 重视。源源不断涌现的MEMS器件和系统不但突破 了某些传统加工技术的瓶颈，实现了技术的进步， 甚至带来了观念的革命和产业结构的更新。其中以 美国的表现最为突出。 从八十年代以来，美国政府机构把MEMS作为 科技发展的三大重点之一，先后得到了NASA 、 DARPA 、国家科学基金会等数亿美元的资助。1994 年发布的《美国国防部技术计划》报告也将微机电 系统列为关键技术项目。 本章主要内容 MEMS典型器件及系统 MEMS加工技术 MEMS基础性研究 MEMS典型器件及系统  微型传感器 Micro Sensor  微型致动器 Micro Actuator  射频微机电系统射频微机电系统 RFRF MEMSMEMS  微型光机电器件和系统 MOEMS  微型生物机电系统 BioMEMS  微型机器人 Micro Robot  微型动力系统 Micro Power System 微型传感器  微型传感器是MEMS的一个重要组成部分。 1962年第一个硅微型威力传感器问世，开创了 MEMS的先河。 现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器 有：压力、力、力矩、加速度、速度、位置、 流量、电量、磁场、温度、气体成分、湿度、 pH值、离子浓度和生物浓度、微陀螺、触觉 传感器等等。 微型传感器正朝着集成化和智能化的方向发展。 谐振式微磁强计谐振式微磁强计 悬臂式微加速度传感器 谐振式微加速度传感器 国外某公司大批量生产的硅微加速 度计，中间是传感的机械部分，四周为 包括电信号源、放大器、信号处理和自 校正电路等的集成电路，集成在 3mm ×3mm的芯片上，采用硅平面微细 加工工艺制作加工工艺制作，，一块直径一块直径1010厘米的硅片厘米的硅片 上可做出几百只微加速度计。已大量用 于汽车的防碰撞气袋，每支只需几美元。 有人预计微型传感器即将占邻40%的传 感器的市场。