磁光旋向横向线性调制测量直线度方法的研究测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

摘 要磁 摘 要 磁 光 旋 向横 向线 性 调制 测 量 直 线 度 方法 的研 究 学 科 : 测试 计 量 技 术 及 仪 器 作 者 姓 名 : 王 全 保 (签名) 王 呈 叮示 指 导 老 师 : 邱 宗 明 教授 (签名，手罕率兰 赵 敏 讲 师 (签名) 山丝』队.— 答 辩 日期 : 2 00 6 年 3 月 摘 要 直 线 度 是 几 何 量 中 的 一 个 重 要 项 目 ， 它 与 圆 度 、 平 行 度 并 称 为 三 大 基 本 计 量 项 目 。 目 前 国 内 外 在 圆 度 、平 行 度 以 及 粗 糙 度 等 计 量 领 域 均 已 达 到 亚 微 米 级 甚 至 纳 米 级 测 量 精 度 水 平 ，然 而 直 线 度 的 测 量 精 度 却 不 高 ，特 别 是 在 大 长 度 范 围 的 直 线 度 测 量 领 域 ，其 精 度 水 平 更 远 远 落 后 于 其 他 计 量 项 目 。 我 国 目 前 主 要 仍 采 用 长 平 品 组 分 段 互 检 方 法 作 为 直 线 度 检 定 基 准 ， 测 量 精 度 不 高 ( 特 别 是 在 测 量 大 尺 寸 零 件 时 尤 为 明 显 ) 。 这 种 状 况 严 重 制 约 着 我 国 精 密 计 量 测 试 领 域 的 发 展 步 伐 。 与 此 同 时 ， 以 前 提 出 的 以 准 直 光 束 为 光 源 ， 四 象 限 光 电 池 为 接 收 器 件 的 方 法 由 于 种 种 原 因 一 直 未 能 实 用 化 ，而 激 光 干 涉 仪 测 量 法 则 由 于 其 价 格 过 高 ，而 难 以 得 到 广 泛 推 广 。 因 此 迫 切 需 要 一 种 方 法 简 便 、 经 济 高 效 和 精 度 较 高 的 测 量 方 法 。 正 是 基 于 这 种 需 求 ，提 出 了 一 种 测 量 直 线 度 的 新 方 法 ，该 方 法 根 据 法 拉 第 磁 光 效 应 ，将 直 线 度 的 变 化 转 变 为 偏 振 光 相 位 的 变 化 ，然 后 通 过 后 续 光 路 和 以 微 控 制 器 为 核 心 的 鉴 相 电 路 测 量 出 相 位 的 变 化 量 ，进 而 由 相 位 和 直 线 度 误 差 间 的 特 定 关 系 计 算 出 直 线 度 误 差 。基 于 此 原 理 提 出 了 总 体 设 计 方 案 ，设 计 了 磁 光 调 制 器 ，进 行 了 硬 件 电 路 系 统 和 软 件 系 统 设 计 ，最 终 建 立 了 一 套 直 线 度 测 量 系 统 ， 完 成 了 相 关 实 验 并 进 行 了 实 验 数 据 处 理 和 误 差 分 析 。 本 文 提 出 的 磁 光 旋 向 横 向 线 性 调 制 测 量 直 线 度 的 方 法 属 于 新 方 法 的 开 发 研 究 ，为 直 线 度 的 测 量 提 供 了 一 种 新 的 思 路 ，具 有 较 高 的 参 考 价 值 和 实 用 价 值 。实 验 结 果 表 明 该 方 法 是 一 种 可 行 的 测 量 直 线 度 的 方 法 ， 值 得 进 一 步 开 发 和 研 究 。 关 键 词 : 磁 光 效 应 ; 直 线 度 测 量 ; 数 字 鉴 相 ; 磁 光 调 制 器 : 半 导 体 激 光 器 A b A b s t r a e t A St u d y o f L in e a rity M e a s u re m e n t M eth o d b a s e d o n M a g n eto 一o P tic L in e a r M O d U la tio n S p e ci al ty : M “玲u r曰”eI 滋M e扮OI 俄扮孔沁h .刘 俄珍朋 d Ins 七u ll洲劫It Tu to r: Q lu Z o n g m in g S lg n a tu re 爪 月to r: Z h a O M in S ig n a tu re :以刹确 A u th o r: W a n g Q u a n b a o S ig n at u re D a t6 : M a r. 2 0 0 6 A b s t r a o t S tr a ig h tn e s s 15 o n e o f th