磁控溅射电源关键技术的研究检测技术及其自动化装置专业论文.docxVIP

主要 主要 符 号表 主 要 符 号 表 Z VS 零 电 压 开 关 尸环价了 脉 宽 调 制 凡 等 离 子 体 等 效 电阻 q 等 离 子 体 等 效 电容 L : 谐 振 电感 砚。 输 入 滤 波 电容 K 变 压 器 变 比 Ls 滤 波 电感 cs 滤 波 电容 几 续 流 电感 氖 续 流 电 阻 喘 续 流 电容 R ， 假 负 载 关 电源 开 关频 率 低lagl 滞 后 桥 臂 死 区 时 间 与lead ， 超 前 桥 臂 死 区 时 间 k 波 尔 兹 曼 常 数 :。 真 空 介 电 常 数 A :介 电常 数 Te 电子 温 度 n0 等 离 子 体 密 度 1 1 前 言 . . . . . . . . . .. . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . .. . . . . . . . .. . . .. . . . . . … … 1 1. 1 磁 控 溅 射 技 术 综 述 . . . .. . . . . . . . . . . . .. . . . . . .. . . . . . . . . . . . .. . .. . . . … … 1 1. 1. 1 磁 控 溅 射 的 基 本 原 理 和 特 点 .. . . .. . . .. . . . ... .. . . . . .. . .. . . .. … … l 1. 1.2 磁 控 溅 射 技 术 的 发 展 和 现 状 . . . . .. ... . . .. . . . .. . . . . .. . .. .. ..… … 2 1. 2 磁 控 溅 射 电源 技 术 的 发 展 现 状 . . . . . . .. . . . . . . . . . . .. . . . . . . . .. . . .. . … … 4 1.2 . 1 磁 控 溅 射 电 源 的 应 用 情 况 . . . .. . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . … … 4 1.2 .2 磁 控 溅 射 电源 设 计 的 主 要 问题 和 关 键 技 术 . . . . .. . . . . .. .. .. ... … … 5 1. 3 本 课 题 的 意 义 和 主 要 研 究 内容 ... . . . . .. . ... .. .. .. . . . . .. . . . . ... .. … … 6 1.3 . 1 论 文 的 选 题 依 据 及 意 义 . . . . . . .. . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . .. … … 6 1. 3 .2 论 文 的 主 要 研 究 内 容 . .. . . .. . . . .. . .. . .. . . . . ... . .. . . . .. . . .. … … 6 2 磁 控 溅 射 等 离 子 体 负 载 特 性 的研 究 ... .. . . . .. . . .. ... . ... . . . . .. . .. . . . . .. … … 8 2 . 1 等 离 子 体 的 基 本 特 征 .. . . . . .. . .. ... . . . . .. . ... . .. . . . . ... .. . . .. . . … … 8 2 .2 磁 控 溅 射 等 离 子 体 负 载 特 性 及 宏 观 模 型 .. . . . .. . .. . ... . . . . .. . . . .. . … … 9 2 .2 . 1 等 效 电路 的 建 立 . . . . . ... .. . . .. . . . ... .. .. .. . . . . .. . . .. ... .. … … 9 2 . 2 .2 等 效 电 阻 的 分 析 . . . . .. . . . . . . . . . . .. . . .. . . . . . .. .. . . . . . . . . . … … 10 2 . 2 .2 等 效 电 容 的 分 析 . . . . . . . .. . . . . . .. . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . … … n 2 .2 . 3 双 向 等 效 电 路 的 分 析 . . .. . . . .. . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . .. . . … … 12 2 .3 本 章 小