等离子体辅助模板沉积纳米点阵的数值模拟研究光学专业论文.docxVIP

’ ’ ⅢY iiii●I 舢8 删3 帅5 ㈣8 删0 mml A Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University for the Degree of Physics Doctor Research on the Numerical Simulation of Plasma．based． Template_assisted Nanofabrication of Nanodot Arrays Author：Xiaochen Wu Specialty：Optics Advisor I：Prof．Yuxing Xia AdvisorⅡ：Prof．Xiaoxia Zhong I· Department of Physics Shanghai Jiao Tong University Shanghai，ER．China May 1，2009 4‘ ? e l e l-- A ●上海交通大学 ● 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作 所取得的成果．除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的作品成果．对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明．本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担． 学位论文作者签名：