基于光学微环谐振器的低频水下声压测量方法.pdf

第３２卷第１期 江苏科技大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ３２ Ｎｏ１ 　 ２０１８年２月 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ）　 Ｆｅｂ．２０１８ 　　　　　　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７３－４８０７．２０１８．０１．０１７ 基于光学微环谐振器的低频水下声压测量方法 郭书生，李　锋 （江苏科技大学 电子信息学院，镇江２１２００３） 摘　要：为满足低频水下声信号测量微型化、高灵敏和低成本的需求，采用有效折射率法、耦合模理论和时域有限差分方 法，设计一种带有单微环谐振器的声压传感结构．低频水声信号向远处传播时产生声压，引起微环谐振器有效折射率变化， 通过检测传感器输出端谐振波长的漂移，实现对水声信号的检测．仿真得到声压传感器的灵敏度和探测极限，并分析输出 端口的光谱特性．理论分析表明：微环谐振声压传感结构在受到低频水下声压作用时，在０～１５００ Ｐａ范围内，每当受到 μ －５ １ Ｐａ的声压，谐振波长漂移００１２ｎｍ，最小可测量到１０ ｎｍ的有效谐振波长漂移．该结构为制备高灵敏度高集成水听器 μ 设备提供理论参考． 关键词：水声信号；微环谐振器；声压；传感器；谐振波长 中图分类号：ＴＮ２５２　　　　　文献标志码：Ａ　　　　　文章编号：１６７３－４８０７（２０１８）０１－００８８－０５ Ｓｐｅｃｔｒａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｌｏｗｆｒｅｑｕｅｎｃｙｕｎｄｅｒｗａｔｅｒａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌ ｂａｓｅｄｏｎｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｒｉｎｇｒｅｓｏｎａｔｏｒ  ＧＵＯＳｈｕｓｈｅｎｇ，ＬＩＦｅｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ２１２００３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｕｆｆｉｃｅｔｈｅｄｅｍａｎｄｓｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇｌｏｗｆｒｅｑｕｅｎｃｙｕｎｄｅｒｗａｔｅｒａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌｂａｓｅｄｏｎｍｉｎｉａ ｔｕｒｉｚａｔｉｏｎ，ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙａｎｄｌｏｗｃｏｓｔ，ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｍｅｔｈｏｄ，ｃｏｕｐｌｅｄｍｏｄｅｔｈｅｏｒｙａｎｄｔｈｅｆｉｎｉｔｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｔｉｍｅｄｏ ｍａｉｎｍｅｔｈｏｄａｒｅｕｓｅｄｔｏｄｅｓｉｇｎａｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｗｉｔｈｓｉｎｇｌｅｍｉｃｒｏｒｉｎｇｒｅｓｏｎａｔｏｒ．Ｄｕｅｔｏｔｈｅｓｏｕｎｄ ｐｒｅｓｓｕｒｅｏｆｔｈｅｌｏｗｆｒｅｑｕｅｎｃｙｕｎｄｅｒｗａｔｅｒａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌ ，ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｉｖｅｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｒｉｎｇｒｅｓｏｎａｔｏｒ ｉｓｃｈａｎｇｅｄ．Ｂｙｄｅｔｅｃｔｉｎｇｔｈｅｒｅｓｏｎａｎｔｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｓｈｉｆｔｏｆｓｅｎｓｏｒｏｕｔｐｕｔｓ，ｔｈｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｕｎｄｅｒｗａｔｅｒａｃｏｕｓｔｉｃ ｓｉｇｎａｌｓａｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｔｈｅｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙａｎｄｄｅｔｅｃｔｉｏｎｌｉｍｉｔｏｆｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｈａｖｅａｌｓｏｂｅｅｎｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｉｎｔｈｅｅｎｄ， ｔｈｅｐａｐｅｒａｎａｌｙｚｅｄｔｈｅｓｐｅｃｔｒａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｅｏｕｔｐｕｔｐｏｒｔ．Ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓｓｈｏｗｓｔｈａｔｔｈｅｒｅｓｏｎａｎｔ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｏｆｍｉｃｒｏｒｉｎｇｓｏｕｎｄｐｒ