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高纯度领域的专长 已获得专利的浆料与超纯水回收装置 绿色且高效 研发、生产并安装气体与化学物 研发出获得专利的浆料与超纯水回 独立的服务供应商与专业公司， 配送系统 收装置，并采用薄膜技术与离心机 具有鉴定气体与化学物配送系统 回收与处理废水 的资质 半导体领域的专长 HighQ-Factory GmbH 是一家着眼未来的公司，专门为半导体工业提供环保的过程解决案。 该企业的业务重点是采用超过滤工艺回收纯净水和化工原料。HighQ-Factory GmbH 是全世界第 一家研发并生产出已获专利的浆料与超纯水回收装置的企业。该企业是 Fäth 集团的一部分。 Fäth 集团是一家业务遍及全球的家族企业。它在研发、生产、安装、鉴定与分析气体与化学 物配送系统方面居于领先地位。凭借着为客户单独定制的解决方案，这家企业在LED、光伏与半 导体工业界树立了良好的名望。Fäth 集团成立于2004年，目前在全世界共拥有350多名员工。 自2016年初起，该企业赢得了Bürkert这样一位强大的合作伙伴，纳入了Bürkert的流体控制系 统。Bürkert是一家在测量、控制和调节系统方面处于领先地位的制造商，在全球拥有大约2500 名员工，在36个国家设有分公司和生产基地。 3 绿色且高效 已获得专利的回收装置 用于浆料和超纯水 在半导体工业领域，回收技术显得日益重要。出于多种原因，将材料处理后重新投入使用是十分 有意义的: 回收材料除了能够保护环境和人的健康，还能够优化生产流程，节约成本。 功能原理 由超纯水、浆料或其它化学材料组成的混合物经过设备内的多个过滤阶段，从而分离出初始原料 并继续使用。超过滤模块的反冲工艺已经获得专利，昂贵过滤元件的使用寿命得到显著延长。过 滤装置仅需每年更换一次（而不是几天就要更换一次），从而再一次大幅提升成本效率。 这意味着 现在终于可以高效并经济地分解出废水中的主要成分了。 最多85%的浆料和90%的超纯水可以重新用于加工。 有价值的稀土金属在回收之后可以重新使用。 可回收材料 超纯水 氧化物浆料 钨浆料 氧化铈浆料 铜浆料 钽酸锂 化学固态物质 4 绿色且高效 根据客户需要进行 定制的不同设备 优势 过程可靠性 通过重复使用回收的原料，可以在任何情况下维持较高的加工质量标准，甚至经常可以显著地改 善质量。 最多可节省 85 % 的成本 通过重复使用化工原料和超纯水，可以在生产过程中明显地缩减成本。 这意味着 大幅降低浆料的采购成本 免去高昂的存储和运输成本 在处理超纯水的过程中节约成本 降低废水处理的成本 高度的独立性 高价值的化工原料昂贵而稀少。高达85%的回收率意味着仅需重新添加15%的材料。 因此，对材料的需求大幅降低！ 保护环境与健康 使用已获专利的回收设备，等于是为保护环境与健康作出重大贡献: 危及健康的纳米颗粒从废水 中过滤出去，并且显著地改善水质。通过这种方法可以减少消耗有价值且不可再生的原料，节约 重要的资源。 5 绿色且高效 化学机械研磨/抛光 在半导体工业中，采用大量的抛光工艺是必不可少的。所需要的浆料与水的混合物，在CMP工艺 制程完成之后，迄今被视作纯粹的