《SJT10625-1995-锗单晶体中间隙氧含量的红外吸收测定方法》.pdfVIP

SJ 中华 人 民共 和 国电子行 业 标准 SJ/T10625一1995 锗单晶体中间隙氧含量的 红外吸收测定方法 Determinationmethodforinterstitialatomicoxygencontent ofgermaniumbyinfraredabaorption 1995-04-22发布 1995-10-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 中华 人 民共和 国电子行业 标 准 锗单晶体中间隙氧含量的红外吸收测定方法 。/T10625-1995 Determinationmethodforinterstitalatomicoxygencontent ofgermanium 勿infraredabaorption 主皿内容与适用范围 1.1 主题内容 本标准规定了用红外吸收法测定锗单晶中问隙氧含量的方法。 ，.2 适用范围 本标准适用于锗单晶中间隙氧含量的测定，测量范围为lOppba至问隙氧在锗单晶中的最 大固溶度。 2 方法原理概要 本方法是用红外光谱仪测定锗一氧键11.7pm处的红外吸收系数确定间隙氧含量。锗单 晶中氧含量与11.7pm处红外吸收系数具有对应关系。 试验仪器 a. 双光束红外分光光度计或付里叶变换红外光谱仪。仪器在波数 M om ’处的分辨 率应优于4cm一长 b.具有合适的样品架; c 千分尺，精度O.Olmm; d. 标准平面锗单晶。 试样 的制备 4.1 测量试样的制备 4.1.1 研磨后的试样需经双面抛光，使两表面呈光学镜面。 4.1.2测量部位的试样厚度差应小于IOpmo 4.1.3 氧含量大于或等于1ppm。时，试样厚度为2一5mm;氧含量小于Ippm。时，试样厚度为 10一25mmo 4.2 参比样品的制备 4.2.1选取间隙氧含量小于Ippba的锗单晶为参比样品。 4.2.2 参比样品的制备同4.1.1至4.1.20 中华人民共和国电子工业部1995-04-22批准 1995-10-01实施 SJ/T10625一1995 4.2.3 参比样品与待测试样的厚度差应小于0.5%, 5 试验程序 5.1 样品厚度的选择 按4.1.3的要求确定测量样品的厚度。 5.2 测量方法选择 5.2.1 差别法(仲裁法) 5.2.1.1 分别在试样光束和参比光束安放样品架，通光孔径为lommo 5.2.1.2 调整透过率0%(仅对双光束红外分光光度计)和 100%0 5.2.1.3 分别在试祥光束和参比光束安放待测试样和厚度匹配的参比样品。 5.2.1.4 对双光束红外分光光度计，调整扫描速度、时间常数、狭缝宽度和增益等仪器参数; 对付里叶变换红外光谱仪扫描次数不少于128次，在11.7fm处锗一氧键吸收带半宽度为 8cm一i 半宽度确定方法如下图。确定基线透过率丁。和峰值透过率丁，令T=丫-T二T，过T’点 作基线的平行线，与吸收带的两侧交于M,N，过M,N作横轴的垂线，与横坐标相交于vv2, Av=v，一 ，(cm-)即为中宽磨门 i邹 ‘ 爪 ill八 于1 。 !又 I 1 I 1