多层结构高频声表面波器件的分析与研制光学工程专业论文.docxVIP

摘要声表面波器件(Surface 摘要 声表面波器件(Surface Acoustic Wave Device)是通讯系统中重要的器件之一。出 于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦 合系数、低传播损耗、高温度稳定性等特性。通过在压电材料与衬底之间加入高声速的 金刚石膜层．可以提高声表面波传播速度，使声表面声波器件在不改变叉指换能器(IDT) 线宽条件下，提高中心频率，以满足通信系统的高频需求。 本研究采用金刚石为基片来提高声表面波速度，并选用压电性能优良的氧化锌(ZnO) 薄膜压电材料，对ZnO／IDT／金刚石多层膜结构的声表面波器件分析和研制。主要完成了 以下几方面工作： 1．理论模型研究 以多层结构的波传播特性为基础计算出声表面波传播速度和机电耦合系数，应用耦 合模型(coupling of modes)理论，进一步模拟出多层结构声表面波滤波器的频率响应， 优化设计多层结构基片和叉指换能器结构，编制了模拟程序软件。 2．高频声表面波滤波器的多层结构基片及器件的设计和制备 根据理论分析设计出的高频声表面波滤波器的多层结构基片和叉指换能器结构，采 用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在硅衬底上沉积了满足高频声表面波器件中金刚石 晶体结构、厚度和表面精糙度要求的盒刚石膜。同时采用射频磁控溅射方法制各了C轴 定向的氧化锌压电薄膜．结合光刻工艺实际制于乍出ZnO／IDT／金剐石／si的多层结构声表 砸波滤波器，成功的将中心频率提高至1．5GHz。 最后，利用网络分析仪测量的多层结构声表面波滤波器的输出结果，与压电单晶结 构的输出特性进行了对比．中心频率是普通压电单品的3倍，并满足高频需求；同时， 实际输出特性与仿真的输出结果作了对比，确定理论模拟对于多层结构声表面波滤波器 的适用性。 3．为了进一步扩展声表面波器件的应用领域，还对无线、无源声表面波传感器进 行了初步探讨，进行了参数设计，器件的制作及测量方法的研究工作。 综上所述，本论文针对ZnO／lD?／会剐石／Si多层结构高频声表面波滤波器提供了完 整的理论、制备和结果测量。实验结果验证了本文研髋的多层结构声表面波滤波嚣能够 提高传播速度、中心频率，降低损耗，满足未来高频需求。另外，对声表面波器件的另 一种应用——声表丽波传感器进行了初步研究。 本文的创新工作如下： 1． 璺行_刀：发、研制多屡结构声表面波器件模拟程序，为多层高频声表面波滤波器优 化基片纭构和叉指换能器结构提供了理论依据。 2． 研究了高声速会刚石膜及其CVD沉积工艺。提出了包括Si基片预处理、灯丝碳化、 会刚石形核和生长存内的全部工艺，经检验能满足高频声表面波滤波器的要求。 3． 提出了多层膜厚度的精确测量新方法。在无需已知相对介电常数(e)的情况 下得到}|较精确的厚度值．而且测量精度能达到19nm左右。 4． 研制了qt心频率1．5Gilz的商频声表面波滤波秣。 关键词：多层结构声表面波器件模拟、CVD金刚石膜、高频SAW滤波器、SAW4#感器 ABSTRAClSurface ABSTRACl Surface acoustic wave devices(SAWD、are one of the most necessary devices in communication system．In recent years，there has been an increasing intcrest in developing surface acoustic wave devices operating at high frequencies．In order to obtain high-frequency SAW devices．a substrate material with high acoustic velocity is desired．By depositing a piezoelectric film on top of a high acoustic velocity substrate·diamond，the purpose of hi出 frequency call be achieyed without the fabrication offine electrodes oflDT． Diamond substrate is all attractive materiaJ because of its high acoustic velocity．And ZnO thin film has been、、Jdely used for layered SAW devices due to its high piezoelectric character．