《SJT10626-1995-键合金丝中杂质素的ＩＣＰ－ＡＥＳ测定方法》.pdfVIP

吕J 中华人 民共和 国电子行业标准 SJ/T 10626一1995 键合金丝中杂质元素的 ICP-AES测定方法 Methodfordeterminingimpuritiesingoldwirefor semiconductorleadbondingbyICP-AES 1995-04-22发布 1995-10-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 中华 人 民 共 和 国 电子 行业 标 准 键合金丝中杂质元素的 SJ/T 10626一 1995 ICP-AES测定方法 Methodfordeterminingimpuritiesingoldwirefor semiconductorleadbonding勿 ICP-AES 主题内容与适用范围 1.飞 主题内容 本标准规定了电感藕合等离子体发射光谱对键合金丝中杂质元素的测定方法。 1.2 适用范围 本标准适用于键合金丝中银、铜、钙、镁、锰、铁、秘、铅元素的测定。其测定范围:铅、秘为 0.0008%-0.0500%，其余为0.0005-0.0500%. 2 方法原理概要 本方法采用王水溶解试样，挥发除去大部分酸后，加入过氧化氢，在水浴中加热使金沉淀 析出，离心分离后，上层清液引入等离子体.按表 1所列各元素分析线波长进行其杂质元素含 量 的测 定。 表 1 } ， 波 长 元 素 元 素 { n m Ag }} 259.94 Cu } Mn 257.61 Ca 一 Pb 220.35或283.31 Mg }一 223.06或 306.77 3 试剂 3.1无水乙醇:优级纯。 3.2 丙酮:分析纯。 3.3 过氧化氢:MOS纯。 3.4 电子级水:EV一II级。 中华人民共和国电子工业部 1995-04-22批准 1995-10-01实施 一 t 一 SJ/T10626-1995 3.5 硝酸(1+1):采用MOs纯硝酸配制。 3.6 盐酸(1+1);采用MOs纯盐酸配制。 3.7 盐酸(1十10)):采用MOs纯盐酸配制。 3.8 稀王水(硝酸:盐酸:水=1:3:4:采用MOs纯硝酸和盐酸配制。 3.9 清洗剂:按乙醉:丙酮=1:4的比例配制。 3.10 标准溶液: 3.10.1 银标准贮存溶液 称1.0000g纯银粉(99.95%以上)，加人25m1硝酸(见3.5)，加热溶