钒酸铋薄膜的合成和性质研究微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

华东师范大学201 华东师范大学201 l届硕1：学位论文 摘要 多年来，铁电薄膜材料由于具有优异的电学和光学特性，以及在器件应用方 面的良好前景，得到了广泛而深入的研究。钒酸铋薄膜材料(Bi2V05．5)，作为一 种新兴的铋基类钙钛矿铁电材料，具有高居里温度、低介电常数、良好的铁电特 性和电光特性，在非易失性铁电存储器、薄膜电容、薄膜红外传感器和电光器件 中有着广阔的应用前景。目前，对于钒酸铋材料的研究还处于初期研究阶段，研 究主要是集中在两个方面：钒酸铋固体电解质体材料和钒酸铋铁电薄膜。目前， 随着薄膜制备工艺的多元化发展和制备技术的提高，钒酸铋薄膜材料的研究逐渐 成为热点。这主要集中在对薄膜的铁电性质和介电性质两方面的研究，而对BVO 薄膜光学性质的研究相对较少。另外，在薄膜制备技术方面，主要是利用激光脉 冲沉积技术(PLD)和金属有机物化学气象沉积(MOCVD)，而利用其他方法制备 的BVO薄膜则鲜有报道。钒酸铋薄膜作为一种很有前途的铁电薄膜材料，具有 很大的研究空间和研究价值。鉴于上面这些原因，本文利用溶胶凝胶(S01．gel) 的方法制备了不同衬底上的BVO薄膜以及掺杂的BVO薄膜，并测试了这些样 品的结构、电学和光学性质，以求对BVO薄膜的性质有一个更全面和深入的研 究。主要成果如下： (1)成功配置了BVO材料的前驱溶液，并使用化学溶胶凝胶的方法，在不 同的退火温