飞秒激光烧蚀锗等离子体特性研究光学专业论文.docxVIP

长春舡大学硕士学位论文飚雌朗f㈣㈣65本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《飞秒激光烧蚀锗等离子体特性研究》 长春舡大学硕士学位论文飚雌朗f㈣㈣65 本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《飞秒激光烧蚀锗等离子体特性研究》 是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引 用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对 本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意 作者签名： 嫂年立月边日 长春理工大学学位论文版权使用授权书 本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权 使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学 位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文 的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位 论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复 制手段保存和汇编学位论文。 作者签名： 螳年立月坐曰 导师签名： 肄缸蓝掣 逊丝年立月幽 摘 摘 要 近些年以来，激光烧蚀方面的研究很多，主要是通过改变实验中的脉冲激光参数、 和烧蚀靶材的种类，还有些通过改变环境气体参数的研究，由此研究激光诱导等离子 体的特性演化。现阶段对于激光烧蚀金属靶材的等离子体特性的研究较多，对于激光 烧蚀半导体材料的研究相对较少。锗(Ge)作为一种半导体材料的应用十分广泛，在 太阳能电池和光纤通信等领域都起到了至关重要的作用，而且在光电对抗方面也同样 具有非同寻常的发展前景，为军事产业提供了强有力的技术基础。因此需要我们更多 的了解和掌握飞秒激光烧蚀Ge的等离子体特性。 本论文研究在不同环境条件下，利用飞秒激光烧蚀Ge的等离子体光谱，对飞秒激 光诱导等离子体的特性开展研究。主要工作分为以下三部分：实验中均采用了中心波 长为800nm，脉宽100fs的千赫兹飞秒激光烧蚀锗靶材。 第一部分：在空气中标准大气压条件下，利用等离子体的发射光谱法，研究等离 子体时间和空间的特性规律。给出在不同能量下，等离子体的光谱强度随时空的演化 规律，计算出电子密度和电子温度随时间的演化以及激光能量对电子密度和电子温度 的影响。 第二部分：在真空环境下，根据等离子体的时间和空间发射光谱研究等离子体的 膨胀动力学过程，给出在不同压强下，等离子体发射光谱随时间和空间的演化规律； 计算出电子温度和电子密度的时间演化以及不同压强对电子温度和电子密度的影响。 第三部分：在不同气体(Ar、He)环境下，根据等离子体的时空分辨发射光谱法， 研究了等离子体的膨胀动力学过程，给出在不同环境气体的不同压强下，等离子体发 射光谱随时间和空间的演化规律；计算出电子温度和电子密度的时间演化以及不同环 境气体与不同压强对电子温度和电子密度的影响。 关键词：激光诱导等离子体时间与空间分辨发射光谱法电子温度电子密度 ABSTRACTIn ABSTRACT In recent years．there are more research to the laser ablation．Mainly by changing the experiment of pulsed laser parameters and different target．Also some by changing the parameters of gas environment research，To study the characteristics of laser induced plasma evolution．At this stage for laser ablation of metal plasma characteristics of target material research iS more．For the laser ablation of semiconductor materials research is relatively small．Ge is a semiconductor material．In areas such as solar cells and optical fiber communication have played a vital role，And has extraordinary development prospects in fighting in photoelectric，Provides a strong technical foundation for military industry．So we need more understand and ma