透镜阵列模压加压过程型腔充型率的有限元仿真.PDF

激光与光电子学进展 51, 022303(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社 透镜阵列模压加压过程型腔充型率的有限元仿真 卢景红 徐 敏 张 浩 复旦大学光科学与工程系超精密光学制造工程研究中心,上海 200433 摘要 采用有限元方法模拟了玻璃透镜阵列模压的加压过程。采用5个单元的广义Maxwell模型和Tool-Naraya⁃ naswamy转移方程分别描述高温下玻璃的粘弹性特性和热流变特性。重点分析了玻璃透镜阵列不同位置的模具型 腔充型率以及模压温度和模压速度对透镜阵列型腔编号为4的充型率的影响。结果表明，靠近模具边缘的型腔充型 率比靠近模具中间的低，模压温度越高充型率越大，模压速度越大充型率越大。 关键词 光学制造；透镜阵列；有限元法；充型率；粘弹性；模压成型 中图分类号 TH74 文献标识码 A doi:10.3788/LOP51.022303 StudyonCavityFillingRatioofLensArrayintheProcessof CompressionMoldingPressingUsingFiniteElementSimulation LuJinghong XuMin ZhangHao ShanghaiUltra-PrecisionOpticalManufacturingEngineeringCenter,DepartmentofOpticalScienceand Engineering,FudanUniversity,Shanghai 200433,China Abstract Finiteelementmethodisusedtosimulatetheprocessofthepressingincompressionmoldingof glasslensarray.Five-elementgeneralMaxwellmodelandTool-Narayanaswamyshiftfunctionareincorporated intothefiniteelementmethodtodescribetheviscoelasticpropertyandtheheatflowcharacteristicofglassat hightemperature,respectively.Thefillingratiosofmoldcavityofglasslensarrayindifferentlocationsandthe effectoftemperatureandmoldingvelocityoncavityfillingratiosinlensarrayareemphaticallyanalyzed.The simulationresultshowsthatcavityfillingratiosarelowerattheedgeofthemoldthanthatinthemiddleofthe mold,andthehighertemperatureandmoldingspeedwillleadtohighercavityfillingratios. Keywords opticalfabrication;lensarray;finiteelementmethod;fillingratio;viscoelasticity;compression molding OCIScodes 230.4000;230.3990;230.3120;220.4610 1 引 言 应用于精密光学的光学元件的尺寸日渐缩小，给精密加工提出了越来越大的挑战。传统上，对于高精度 大尺寸的玻璃光学元件，通常采用磨削和抛光工艺来进行加工。然而对于小尺寸以及周期性结构的光学元件 (如衍射光学元件和透镜阵列等)传统的加工方法十分费时，生产效率大大降低[1]。对于大规模生产周期性结构 的光学玻璃透镜阵列来说，模压成型方法是比较有前景的技术。此方法是通过模压高温下软化的玻璃，成型 并复制模芯的面型，再经过冷却和脱模而成为目标产