产业及生技无尘无菌空调系统之检测程序与确效作业研究.PDF

行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 產業及生技無塵無菌空調系統之檢測程序 與確效作業研究(1/2)(2/2) 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號：NSC 93－2212－E－167－001，NSC 94－2212－E－167－001 執行期間： 93 年 8 月 1 日至 95 年 7 月 31 日 計畫主持人：王輔仁 計畫參與人員： 李國正、丁相元、鄭銀瑞、王耀俊、孫志豪、張家彰 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：□精簡報告 ■完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年■二年後可公開查 詢 執行單位：國立勤益技術學院冷凍空調系 中 華 民 國 95 年 9 月 26 日 摘 要 關鍵詞：無塵室、測試、確效、污染控制 現代化產業也由於新產品展之需求而對 無塵室技術要求日益殷切，而無 塵室在設計建造完成後需經完整測試以確保其能達到當初設計之規範，並 且即使在正式運轉作業時也能持續達到要求等級標準，也因此，為了確認 無塵能滿足原先設計要求之汙染等級標準，測試程序及確效作業便顯得格 外重要且關鍵。然而，測試及確效作業 不僅須遵守無塵室相關法規設計標 準，且在不同階段狀態下（即完工時，機器安裝後及正式運轉時）皆須能 持續地符合無塵室等級規格；此外，其檢驗測試項目繁多，因此在測試及 確效作業上有相當程度之複雜性，而為確保無塵室能依法規標準正確地操 作，建立標準測試程序及確效作業相關研究實乃刻不容緩之要務。本計劃 將著重於無塵無菌室等級標準之探討及相關無塵室測試之原則、程序及確 效作業，亦將搭配本校新建微機電實驗室之無塵室作為現場量測試驗之進 行，並將實地進行半導體產業及醫療生技設備之無塵無菌環境之確效作業 量測。此外，吾人亦搭配現場作的實驗數據與計算流體力學 (CFD)進行模擬 氣流特性，並提出各種改善方案及評估較少支出的改進策略。由電腦模擬 結果顯示，氣流的改進不僅可透過增加風機濾網機組的數量來達成，亦可 更經濟地藉由適當地安排回風格柵位置 而加以改善，因此，當無塵室進行 修繕處理時，使用 CFD來輔助預測模擬將可有效降低嘗試錯誤之時間耗費 並協助吾人找尋最佳改善方案。