飞秒激光功能微器件加工工艺及应用研究精密仪器及机械专业论文.docxVIP

University University of Science and Technology of China A d issertation for Master’S deg ree — Research of Femtosecond Laser Micro Fabrication of F u n cti o n a l M i cro Devi ces a n d Appl ications Author’S Name： Junjun Ding speciality： Mechanical Engineering Supervisor： Prof．Wenhao Huang，Prof．Xiang Wang Finished time： June 1st，2010 L _ 一← 中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 中国科学技术大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 果。除已特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人已经发表或撰写 过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确 的说明。 作者签名： 签字日期：兰盘!鱼2 中国科学技术大学学位论文授权使用声明 作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥 有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入《中国学 位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 啦开 口保密(——年) 作者签名：三逊 聊躲蠡i塾导师签名： 鲮．么!盖 签字日期．鲨鱼：￡2 签字日期：—二塑}』蚪 L 中国科学技术大学学位论文原创性和授权使用声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作 中国科学技术大学学位论文原创性和授权使用声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作 所取得的成果。除已特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任 何他人已经发表或撰写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究 所做的贡献均已在论文中作了明确的说明。 本人授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权，即：学 校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子 版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 作者签名：三二星墨 测，砗瑚了Et 、 摘要摘要 摘要 摘要 飞秒激光双光子微纳加工具有真三维、亚微米分辨率和热效应小等优点，已 在微细加工领域中广泛的应用。本文采用理论和实验相结合的方法，优化飞秒激 光加工工艺参数，进行微光学和微机械功能器件的微加工，探讨这些功能器件在 应用中的若干问题。本文的主要研究工作及成果如下： 1．在实验室的飞秒激光微细加工系统的基础上，升级了加工控制软件。 2．对飞秒激光加工系统的能量和扫描路径等工艺参数优化，实现了微透镜 阵列的三维加工。结合飞秒激光加工和微电铸技术，得到了微透镜阵列 的金属模具。 3．对比采用S-3和SU8两种常用光刻胶，优化工艺参数，实现了微齿轮的 三维精细加工。并结合飞秒激光加工和微电铸技术，得到微齿轮的金属 模具。 4．采用超衍射相位板对飞秒激光进行调制，通过实验研究对超衍射相位板 调制后的点、线实际加工效果分析。 本论文结合飞秒激光双光子微纳加工的优点，优化加工得到几种不同类型的 微功能器件，为以后飞秒激光微纳加工在MEMS领域中的应用提供了很好的参考。 关键词：飞秒激光微纳加工超衍射分辨双光子加工微电铸 AbstractABSTRACT Abstract ABSTRACT Femtosecond laser two photon polymerization(TPP)provides many advantages for achieving three—dimensional sub-micron structures with neglectable heat effect． The TPP method has been widely used in micro fabrication area．This paper optimizes the femtosecond laser processing technological parameters based on theory and exp