自混合干涉效应在位移测量中的应用现状.pdfVIP

本文引用格式：辛倩倩，李建丽，田丽，等．自混合干涉效应在位移测量中的应用现状[J]．新型工业化，2014，4（6）：49-53. DIO：10.3969/j.issn.2095-6649.2014.6.06 自混合干涉效应在位移测量中的应用现状* 辛倩倩，李建丽，田丽，朱炜，杨明伟 （北京理工大学机电学院，北京100081） 摘　要：本文对自混合干涉系统在位移测量中的应用情况进行了综述。首先对自混合干涉的发展概况 进行介绍，然后重点介绍基于自混合干涉理论的位移测量方法。文中介绍的方法有条纹计数法、电流调制 光频法、正弦相位调制法。条纹计数法最易于实现，但是分辨率低，一般为半个光波长。电流调制光频法 提高了测量的精度，分辨率可以达到nm量级。正弦相位调制法利用外腔光路中的电光晶体对激光器功率 相位进行调制，利用傅里叶变换解调出相位，具有很高的测量精度，可用于微位移的测量。 关键词： 自混合干涉；光反馈；位移测量；相位调制 An Overview of self-mixing interference applications in displacement measurement XinQianqian，LiJianli，TianLi，ZhuWei，YangMingwei School of Mechatronical Engineering Beijing Institute of Technology Beijing 100081 （ ， ，  ） Abstract ：Inthispaper，applicationsoftheself-mixinginterferencesystemindisplacementmea- surementarereviewed.Afterintroducingthedevelopmentoftheself-mixinginterference，wefocuson thedisplacementmeasurementmethodsbasedontheself-mixinginterferencetheory.Thefringecount- ingmethod，currentmodulationopticalfrequencymethodandthesinusoidalphasemodulationmethod areintroduced.Fringecountingmethodprocessiseasytoimplement，butthedistinguishabilityislow， whichisthehalfofawavelengthoflight.Currentmodulationopticalfrequencymethodimprovesthe measurementaccuracy，withthedistinguishabilityuptonanometer.Sinusoidalphasemodulationmethod usestheelectro-opticcrystalinexternalcavityopticalpathtomodulatethephaseoflaserpower，and thenthephasewillbedemodulatedbyFouriertransform.Thismethodhasaveryhighmeasuringaccu- racyandcanbeusedformicro-displacementmeasurement. Keywords ：self-mixinginterference；opticalfeedback；displacementmeasurement；phase modulation 0　引言 [1] 激光自混合干涉效应指的是在激光测量中，激光器发出的光被外部物体反射或散射 ，部 分光反馈会激光器，与腔内光相混合，引起激光器的输出频率、