电解精炼制备太阳级硅杂质行为研究.pdf

第卷第期 年月 ５９ ３ ２０１０ ３ 物　 理　 学　 报 Ｖｏｌ．５９，Ｎｏ．３，Ｍａｒｃｈ，２０１０ １０００３２９０／ ２０１０／ ５９ ０３ ／１　９３８０８ （） ＡＣＴＡ ＰＨＹＳＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ２０１０ Ｃｈｉｎ．Ｐｈｙｓ．Ｓｏｃ．  电解精炼制备太阳级硅杂质行为研究 贾明田忠良赖延清李稢伊继光闫剑锋刘业翔 　 　 　 　 　 　 　 　 （中南大学冶金科学与工程学院，长沙 ） 　 ４１００８３ （２００９ 年４ 月２２ 日收到；２００９ 年６ 月３０ 日收到修改稿） 　 　 在氟化物电解质体系下，把Ｃｕ 与冶金级多晶硅熔配成合金作为阳极，利用杂质与硅析出电位的差别，通过控 制电解工艺条件和参数，对冶金硅进行了电解精炼提纯研究．结果表明，阳极铜硅合金对硅中的杂质有滞留作用， 且在大电流密度下Ｃｕ不会随着合金中硅的减少而溶解到电解质中；预电解对电解质净化效果明显，ＸＲＦ 分析表明 含量从 降为 ；阴极电沉积的硅呈颗粒状，并与电解质混杂，随着电解时间的延长，分散的硅的颗粒聚集 Ｐ １０ １ ｐｐｍｗ 成— 直径的大尺寸硅球 分析表明，最后得到的产物硅与冶金级硅相比，硼含量由 降低到 １ ２ ｃｍ ．ＩＣＰＡＥＳ １２７ ２２ ，磷含量由 减少到 ，说明电解精炼除杂进行多晶硅的提纯是有效和可行的 ｐｐｍｗ ９８６ ４１ ｐｐｍｗ ． 关键词：多晶硅，太阳电池，电解精炼，定向凝固 ＰＡＣＣ ６１２５ Ｋ ６１２５ Ｍ ６１７０ Ｒ ８１１０ ： ， ， ， １０ ５０ ｍＡ／ 采用的沉积电流密度必须比较小，为— ２ １ 引 言 ｃｍ ，电流效率低且沉积速率慢，使得电解沉积法制 备高纯硅一直未能得到实际应用． 近年来，光伏产业的发展对太阳级硅的需求日 从高纯铝生产和电解精炼的相关理论出发，作 ［—］ １ ４ ． 者提出了一种“三层液熔盐电解精炼多晶硅”的新 趋紧迫 传统的西门子法提纯制备高纯硅材料 ［ ］ １１ 是先将硅石还原成工业硅，然后氯化制成ＳｉＨＣｌ ，再 方法．采用ＣｕＳｉ 合金作为阳极和硅源，利用杂３ 对其进行还原． 生产流程安排上明显不合理，而且 质元素与硅电负性的差别，在电极和电解质都为熔 工艺复杂，能耗高，因此世界各国都相继开展了低 融态的条件下进行电解精炼．三层液的采用使得电