脆性材料截面透射电镜样品的制备.pdfVIP

下载本文档

36
0
约1.68万字
约 4页
2019-03-30 发布于天津
举报
版权申诉

脆性材料截面透射电镜样品的制备.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

脆性材料截面透射电镜样品的制备，，，１２１１２１３１２王燕飞，黄宛真，郑遗凡，胡仙超，苏伟涛，杨倩　（浙江工业大学分析测试中心，杭州；浙江工业大学化学工程与材料学院，杭州；１．３１００１４２．３１００１４３．杭州电子科技大学，杭州３１００１４）针对脆性材料截面透射电镜样品制样难的问题，详细介绍一种改进的离子减薄法制备摘要：　脆性材料截面ＴＥＭ样品的方法，即先制备层叠矩形薄片，然后使用低速锯切取出层叠薄片，再用切割工具切割出３ｍｍ的圆片，最后采用凹坑研磨和抛光及离子减薄法完成样品的制备。大量操作试验证明该方法具有成本低、操作方便等优点，提高了截面ＴＥＭ样品的制样成功率；采用该方法可快速制备硅基底上生长的薄膜层的ＴＥＭ样品，然后用ＴＥＭ可清晰观察到薄膜层的生长情况。透射电镜；截面样品；制样；离子减薄关键词：中图分类号：文献标志码：文章编号：（）Ｏ６５７．９９Ａ１００１４０１２２０１１０４０２２５０４　　　　　　犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犳狅狉犆狉狅狊狊狊犲犮狋犻狅狀犪犾犜犈犕犛犲犮犻犿犲狀狊犳狅狉犅狉犻狋狋犾犲犕犪狋犲狉犻犪犾狊狆狆，，，１２１１２１３１２，，，，，犠犃犖犌犢犪狀犳犲犻犎犝犃犖犌犠犪狀狕犺犲狀犣犎犈犖犌犢犻犳犪狀犎犝犡犻犪狀犮犺犪狅犛犝犠犲犻狋犪狅犢犃犖犌犻犪狀犙（，，；１．ＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＡｎａｌｓｉｓａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＨａｎｚｈｏｕ３１００１４Ｃｈｉｎａｙｇ，，，；２．ＣｏｌｌｅｅｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅＺｈｅｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏＨａｎｚｈｏｕ３１００１４Ｃｈｉｎａｇｇｇｊｇｙｇｙｇ，，）３．ＨａｎｚｈｏｕＤｉａｎｚｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔＨａｎｚｈｏｕ３１００１４Ｃｈｉｎａｇ