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体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究-光学精密工程.PDF

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    11 1 Vol. 11 No. 1 2 0 0 3 2 Optics and Precision ngineering Feb . 200 3 1004924X(2003) 李 勇, 李玉和, 李庆祥, 訾艳阳 ( 清华大学 精密仪器与机械学系, 北京10008

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