毛细管聚焦的微束X射线荧光谱仪-北京师范大学核科学与技术学院.PDF

X-ray optic Lab 毛细管聚焦的微束 X 射线荧光谱仪 • 独树一帜的微区分析解决方案 联系方式：chenglin@; 010 （微信同步） 北京师范大学核科学与技术学院 2018 年 11 月 12 日 一，毛细管聚焦 X 射线原理 主要利用 X 射线全反射的原理，从 X 射线管激发出来的 X 射线束在毛细玻 璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变 X 射线传 输方向，从而实现 X 射线会聚，同时将 X 射线的强度增加 2～3 个数量级。 图 1.1，毛细管X 光透镜示意图 图 1.2 ，毛细管X 光透镜的内部结构图 二，毛细管聚焦的微束 X 射线荧光谱仪 1，微束 X 射线荧光谱仪的构成： 毛细管聚焦的微束 X 射线荧光谱仪主要由微焦斑 X 射线管、SDD X 射线 探测器、三维样品台、CCD 相机、激光位移传感器、编码器控制的步进电机、 西门子 PLC 、红外线防碰撞装置、自动化控制软件、采谱和数据处理软件等组 成。 1 表 1-1，主要仪器部件标准配置和参数 部件名称 特征参数 微焦斑 X 射线管 德国，焦斑 50m×50m ，30W，风扇冷却 X 射线探测器 美国 Amptek 公司，SDD 120ev (5.9keV) 毛细管 X 光透镜 聚焦 X 射线束光斑直径 20 微米～600 微米（Mo-K α） PLC 德国西门子公司 激光位移传感器 德国，精度 20 微米 CCD 相机 1400 万像素，放大倍数 20 三维样品台 标配 行程 40mm×40mm×40mm ，编码器控制的步进电机，精 度 0.1 微米/步，承重 50Kg；可个性化定制 数据处理 基于小波变换的能谱峰面积计算和本底扣除；二维样品扫描谱 处理软件：基本参数法定量分析，标样偏最小二乘法拟合 图2. 1， 微束 X 射线荧光谱仪控制软件 2 2，激光位移传感器自动控制样品与 X 射线源之间的距离 （国家发明专利技 术，专利号：ZL 2014 1 0649766.2 ） 当微束 X 射线对表面不平整的样品进行微区扫描时，由于样品表面的粗糙 度或弧度，导致样品被测点与透镜出口端距离大于或小于毛细管 X 光透镜的后 焦距，使样品的测量点与毛细管透镜的焦斑不重合，进而导致照射样品的微束 X 射线光斑变大，影响元素成像的分辨率。为了解决这一问题，本谱仪采用精度为 20 微米的激光位移传感器在计算机的控制下，实时调整样品被测量点与毛细管 X 光透镜出端的距离，严格保证样品被测量点位于毛细管透镜的焦斑上，提高测 量的准确性。 图2.2 测量点 A 与 B 的高度差 5mm； 60 激 活激