氧氩比对铒镱掺杂氧化锌薄膜的结构和光波导特性-山东建筑大学学报.PDF

第! 卷 第# 期 山东 建 筑 大 学 学 报 59:; ! +9; # !$#% 年 ! 月 ’()*+,- (. /0,+1(+2 ’3,+40) )+356*/378 .=; !$#% 文章编号：#K?% ?K@@ （!$#% ）$# $$@! $@ 氧氩比对铒镱掺杂氧化锌薄膜的结构和光波 导特性的影响 ! 宋红莲，王凤翔 ，陈志华，孙舒宁 （山东建筑大学 理学院，山东济南!J$#$#） 摘要：氧化锌作为一种良好的发光材料广泛应用于太阳能电池、气敏传感器、紫外探测器、光电器件、透明电极 等诸多领域。文章应用磁控溅射技术制备铒镱掺杂的氧化锌薄膜，利用U 射线（U*1 ）和棱镜耦合技术，分析研 究了氧氩比对铒镱掺杂的氧化锌薄膜的结构和光波导特性的影响。结果表明：氧氩比对薄膜的结构和光波导 特性有重要影响，当氧氩比为! ：#K 时，薄膜的衍射峰的强度较大，半高宽（.V0W ）较窄，有效折射率接近4G( 薄膜的折射率，降低氧氩比有利于增强薄膜的! 轴择优取向。 关键词：磁控溅射技术；铒镱掺杂氧化锌；氧氩比；石英；蓝宝石 中图分类号： $ ; @@ ; # 文献标识码：, !#$%’ (# )* (+,-. /0-( 0/)1( ( )* 2)0%’)%0 /3 (4)1’/$ 5/6-%13 (# 70% X . 89% X 3(43 :; #1$2 /9GH 09GH:EDG ，VDGH .GHOEDGH ，YIG 4IEITD ，# $% （/MI99: 9N /MEGM ，/IDGQ9GH ’EDGSIT )GEZ[FE\] ，’EGDG !J$#$#，YIEGD ） =92)0/’) ：4G( ，D :TCEGFMG\ CD\[ED: ，EF PEQ:] TFQ EG F9:D[ M:: ，HDF FGF9[F ，^I9\9:M\[EM QZEMF DGQ \[DGF^D[G\ :M\[9QF ，\M; 7I 6[% X _ 8=% X Q9^Q 4G( \IEG NE:C IDF =G ND=[EMD\Q =] TFEGH [DQE9 N[‘TGM] CDHG\[9G F^T\\[EGH \MIG9:9H] DGQ E\F F\[TM\T[D: DGQ 9^\EMD: ^[9^[\EF D[ MID[DM\[ESQ =] U*1 DGQ ^[EFC M9T^:[; 7I EGN:TGM EF F\TQEQ 9N ZD[E9TF 9O]HG_ D[H9G [D\E9F 9G \I F\[TM\T[ DGQ 9^\EMD: PDZHTEQ 9N 6[% X _ 8=% X Q9^Q 4G( \IEG NE:CF; *FT:\F FI9P \ID\ \I 9O]HG_ D[H9G [D\E9 IDF D FEHGENEMDG\ NNM\ 9G \I F\[TM\T[ DGQ 9^\EMD: PDZHTEQ 9N 6[% X _ 8=% X Q9^Q 4G( NE:CF; 7I F\[9GH QENN[DM\E9G ^Da PE\I D GD[[9P .V0W DGQ \I NNM\EZ [N[DM\EZ EGQO 9N NE:CF D[ M:9F \9 4G( NE:CF PIG \I 9O]HG_ D[H9G [D\E9 EF !_ #K ; 7I NE:C