碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热-材料与测试网.PDFVIP

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2019-03-02 发布于天津
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碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热-材料与测试网

年月第卷第期２０１７１０４１１０　Vol．４１No．１０Oct．２０１７ : / DOI １０．１１９７３ xccl２０１７１００１０ jg 碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响 , １３１２３ , , , 陈向阳张瑾黄润马胜利 ( ; , ; 安徽理工大学机械工程学院材料科学与工程学院淮南１．２．２３２００１ , ) 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室西安３．７１００４９ : ( ) , 摘要利用电弧增强反应磁控溅射 AEMS方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜通过改变　 , 、、石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量采用傅里叶变换红外光谱仪高分辨透射电镜显微 . : 硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性结果表明 BCN薄膜在高温下具有较好的 ; , , 热稳定性随着碳含量的增加高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加部分结合键发生转化 , , . 或分解结合力下降 BCN薄膜的热稳定性降低 : ; ; 关键词电弧增强反应磁控溅射 BCN薄膜热稳定性中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TG１７４．４４　　　 A　　　１０００Ｇ３７３８２０１７１０Ｇ００４４Ｇ０４ EffectofCarbonContentonThermalStabilitofBCNThinFilmPreared y p b ArcEnhancedReactiveManetronSutterin Method y g p g , １３１２３ , , , CHENXian an ZHANGJin HUANGRun MAShenli