压强对直流磁控溅射MY薄膜光学性能的影响-郑州大学学报理学版.PDFVIP

! 第 # 卷第 $ 期 郑 州 大 学 学 报 !理 学 版 %’(# )($ ! *#+, 年 +* 月 -./0123405 6278.!)9:.;7.=. ?1.*#+, 压 强对 直流磁控溅射 M(Y薄膜光学性能 的影响 + + + * + + 史新伟 !! 周! 强 !! 马群超 !! 李杏瑞 !! 姚! 宁 !! 安子凤 !+. ! $###+ *. ! $###+ 郑州 大学 物理工程学院 河南 郑州 郑州 大学 材料科学与工程学院 河南 郑州 ! # U7) . A 摘要 使用 直 流磁 控 溅射设备 不 同压 强 下 在 玻璃衬底 上 制 备 了 系 列 薄 膜 采 用 紫 外 可 见 光 分 光 光 度 仪 测 试 # . U7) 了样 品 的光 学性能 采 用 四探 针 法 测 量 了样 品 的方块 电 阻 研 究 了 溅 射 沉 积 过 程 中压 强 对 薄 膜 光 学 性 能 的影 . # #U7) # # # 响 结果表明 随着反 应 压 强 的增 大 薄膜在可 见 光 区透射 率 增 强 反 射 率 降低 薄 膜 厚 度 减 小 方 块 电 阻增 大 中远 红外 光 区 的反 射 率 降低 . 关键词 ! 氮 化 钛 直 流磁 控 溅射 压 强 光 学性能 中图分类号 ! UQC$ N$,$!!!!! 文献标志码 ! W!!!!! 文章编号 ! +B@+AB,$+ !*#+, #$A##,A#B !#! +#(+C@# XY.7JJ2.+B@+AB,$+(*#+,#B# $% 引言 # . # 玻璃 广泛应用 于现代建 筑 中 保护 我们 免受 恶劣外 部环境 的侵害 太 阳辐射 谱 是 连 续 谱 按 不 同 的波 长 ) ) C # % ! m#($# G @S # 可分为 紫外 可 见 红 外 个 区域 其 能 量 分 布 为 紫 外 波 段 % 约 占总 能 量 的 可 见 光 波 段 !#($# T#(@B G #S # ! k#(@B G $CS # # % 约 占 红外 波段 % 约 占 红外 波段 的能量对采 光 毫无 贡献 在 炎 热 的 . # 夏季反 而会 增 加 室 内的温度 阳光控制 功 能镀膜玻璃 的主要特点就是对可见光 波段具有一定 的透过率