纳米AZO膜的制备及其光电性能.pdfVIP

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2019-06-13 发布于广东
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纳米AZO膜的制备及其光电性能.pdf

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第 30 卷　第 10 期纺　织　学　报 Vol . 30 　No . 10 2009 年 10 月 Journal of Textile Research Oct . 　2009 ( ) 文章编号 2009 纳米 AZO 膜的制备及其光电性能侯大寅 , 汤　辉 (安徽工程科技学院省纺织面料重点实验室 , 安徽芜湖 241000) ( ) 摘　要　为开发光电纳米结构功能纺织品 ,采用磁控溅射技术在丙纶非织造布上制备掺铝氧化锌 AZO 薄膜 ,并对 ( ) AZO 膜进行原子力显微镜 AFM 表征 ,分析不同工艺参数对 AZO 薄膜结构以及 AZO 的导电性能和抗紫外线性能的影响。结果表明:颗粒直径随着压强增大而增大 ,当压强增大到一定程度后 ,颗粒直径逐渐变小 ;颗粒直径随着功率增加而增大 ,但继续增加 ,薄膜的均匀性将变差 ,表面变得粗糙 ,但导电性能提高 ;溅射时间的延长能改善薄膜的均匀性和致密性。在溅射压强为0 . 5 Pa , 溅射功率为120 W ,溅射时间为60 min 时 ,AZO 薄膜的均匀性和致密性最好 ,制备的AZO 薄膜具有优良导电性能 , 同时对紫外线的吸收能力较好。关键词　AZO 薄膜 ; 磁控溅射 ; 抗紫外线性能 ; 光电性能中图分类号 :TS 101923 　　　文献标志码 :A 　　　 Preparation and photoelectric properties of nanoAZO f il m HOU Dayin ,TAN G Hui ( Provincial Key L aboratory of Textile Fabric , A nhui University of Technology and Science , Wuhu , A nhui 　241000 , China) Abstract 　In order to develop the nanostructure functional textile with photoelectricity , AZO thin film has been deposited on the polypropylene nonwoven fabric by magnetron sputtering , and characterized by atomic force microscope (AFM) . The influences of different process parameters on AZO thin film structure have been analyzed . In addition , the electrical conductivity and antiUV of AZO thin film have been studied . The results show that the diameter of AZO particles increases with the increase of gas pressure , and